Толщина напыляемых покрытий, используемых в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), обычно составляет от 2 до 20 нанометров (нм). Этот ультратонкий слой металла, обычно золота, золота/палладия, платины, серебра, хрома или иридия, наносится на непроводящие или плохо проводящие образцы для предотвращения заряда и улучшения соотношения сигнал/шум за счет увеличения эмиссии вторичных электронов.
Подробное объяснение:
-
Цель нанесения покрытия методом напыления:
-
Напыление необходимо для РЭМ при работе с непроводящими или чувствительными к лучу материалами. Такие материалы могут накапливать статические электрические поля, искажая процесс визуализации или повреждая образец. Покрытие действует как проводящий слой, предотвращая эти проблемы и улучшая качество РЭМ-изображений за счет увеличения соотношения сигнал/шум.Толщина покрытия:
-
Оптимальная толщина напыляемых покрытий для РЭМ обычно составляет от 2 до 20 нм. Для РЭМ с малым увеличением достаточно покрытий толщиной 10-20 нм, которые не оказывают существенного влияния на получение изображений. Однако для РЭМ с большим увеличением, особенно с разрешением менее 5 нм, очень важно использовать более тонкие покрытия (до 1 нм), чтобы избежать затемнения мелких деталей образца. Высокотехнологичные напылительные установки, оснащенные такими функциями, как высокий вакуум, среда инертного газа и мониторы толщины пленки, предназначены для получения таких точных и тонких покрытий.
-
Типы материалов для покрытий:
Хотя обычно используются такие металлы, как золото, серебро, платина и хром, применяются и углеродные покрытия, особенно в таких областях, как рентгеновская спектроскопия и дифракция обратного рассеяния электронов (EBSD), где важно избежать вмешательства материала покрытия в элементный или структурный анализ образца.
Влияние на анализ образцов:
