Когда речь идет об измерении толщины тонких пленок, выделяется один метод: спектроскопическая эллипсометрия.
Какой из следующих методов измерения обычно используется для определения толщины тонких пленок? (Рассмотрены 4 ключевых метода)
1. Спектроскопическая эллипсометрия
Спектроскопическая эллипсометрия - неразрушающий и бесконтактный метод.
Он позволяет измерять толщину прозрачных и полупрозрачных однослойных и многослойных пленок.
Этот метод широко используется в таких отраслях, как электроника и полупроводники.
Он позволяет одновременно измерять толщину пленки и такие оптические свойства, как коэффициент преломления и коэффициент экстинкции.
Подходящий диапазон толщины для спектроскопической эллипсометрии составляет от 1 до 1000 нм.
Однако он не позволяет точно измерить толщину тонких пленок на прозрачных подложках, используемых в оптике.
2. Профилометрия щупом
Профилометрия щупом - еще один метод, который может использоваться для механических измерений толщины пленки.
Для этого необходимо наличие канавки или ступеньки на поверхности пленки.
3. Интерферометрия
Интерферометрия также является методом, который может быть использован для измерения толщины пленки.
Как и профилометрия с помощью щупа, он требует наличия особых свойств поверхности для эффективной работы.
4. Другие методы
Для приложений, связанных с прозрачными подложками, используемыми в оптике, можно использовать другие методы, такие как XRR, SEM и TEM для поперечного сечения.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Ищете надежные и точные методы измерения для тонких пленок? Обратите внимание на KINTEK!
Наш ассортимент оборудования для спектроскопической эллипсометрии идеально подходит для измерения прозрачных и полупрозрачных однослойных и многослойных пленок толщиной от 1 нм до 1000 нм.
Благодаря возможности вычисления коэффициента преломления пленки наш неразрушающий и бесконтактный метод пользуется доверием в электронной и полупроводниковой промышленности.
Для задач, связанных с прозрачными подложками, используемыми в оптике, изучите другие наши методы, такие как XRR, поперечный SEM и поперечный TEM.
Выбирайте KINTEK для точных измерений тонких пленок - свяжитесь с нами сегодня!
