При электронно-лучевом испарении используется широкий спектр материалов, включая металлы, керамику и диэлектрики. Эти материалы выбираются за их высокие температуры плавления и используются для нанесения тонких пленок на различные подложки.
Испарительные материалы:
- Электронно-лучевое испарение особенно подходит для материалов с высокой температурой плавления. К ним относятся:Традиционные металлы:
- Алюминий, медь, никель, титан, олово и хром.Драгоценные металлы:
- Золото, серебро и платина.Тугоплавкие металлы:
- Вольфрам и тантал.Другие материалы:
Оксид индия-олова, диоксид кремния и другие.
Выбор этих материалов обусловлен их способностью выдерживать высокие температуры, создаваемые электронным лучом, которые могут достигать 2 000 градусов Цельсия. Универсальность электронно-лучевого испарения позволяет осаждать эти материалы на различные подложки.Материалы подложек:
- Подложки, на которые осаждаются эти материалы, также могут быть самыми разными, в том числе:
- Электроника: Кремниевые, кварцевые и сапфировые пластины.
- Керамика: Нитрид кремния.
Стекло:
Распространено в таких областях, как солнечные батареи и архитектурное стекло.Выбор подложки зависит от предполагаемого применения и свойств, требуемых для конечного продукта.
- Области применения и системные компоненты:
- Электронно-лучевое испарение используется во многих отраслях промышленности для решения задач, требующих высокой термостойкости, износостойкости, химической стойкости или особых оптических свойств. Процесс включает в себя несколько ключевых компонентов:Вакуумная камера:
- Необходима для поддержания чистоты среды и предотвращения загрязнения испаряемых материалов.Источник электронного пучка:
Обычно это вольфрамовая нить, которая нагревается для высвобождения электронов, которые затем фокусируются в пучок с помощью магнитов.
Крюсиль: Содержит исходный материал и может быть изготовлен из таких материалов, как медь, вольфрам или техническая керамика, в зависимости от температурных требований процесса испарения.
Система рассчитана на крупносерийное производство, что делает ее эффективной для производственных процессов в таких отраслях, как аэрокосмическая, автомобильная и электронная.
Недостатки:
