Частота Mpcvd составляет 2,45 ГГц. Именно на этой частоте работает микроволновый генератор в системе MPCVD. Микроволновое излучение используется для генерации плазмы в вакуумной камере, создавая идеальную среду для осаждения алмаза. Электроны в плазме поглощают энергию СВЧ-излучения, достигая температуры до 5273 К. Наиболее часто используемые частоты СВЧ-излучения для этого метода - 2,45 ГГц и 915 МГц.
Метод MPCVD имеет ряд преимуществ перед другими методами синтеза алмаза. По сравнению с методом DC-PJ CVD, MPCVD позволяет плавно и непрерывно регулировать мощность СВЧ-излучения и стабильно контролировать температуру реакции. Это позволяет избежать проблемы выпадения зерен кристаллов с подложки из-за дуги и пробоя пламени. Регулируя структуру реакционной камеры и управляя СВЧ-мощностью и давлением, можно получить большую площадь стабильной разрядной плазмы, что необходимо для получения высококачественных монокристаллов алмаза большого размера. Поэтому метод MPCVD считается наиболее перспективным методом синтеза алмазов для промышленного применения.
Помимо преимуществ в синтезе алмазов, метод MPCVD используется и в других областях, например при изготовлении графена. Частота 2,45 ГГц используется при проектировании MPECVD-камер для систем производства тонкопленочных элементов. Расположение щелей в камере влияет на резонансный режим: при среднем и нижнем расположении на частоте 2,45 ГГц возникают режимы TE111 и TM011 соответственно.
Откройте для себя передовую технологию MPCVD для получения высококачественных монокристаллических алмазов большого размера. Компания KINTEK предлагает современное лабораторное оборудование, позволяющее генерировать плазму стабильного разряда на точной частоте 2,45 ГГц. С помощью нашего оборудования можно добиться плавной и непрерывной регулировки мощности СВЧ-излучения и стабильного контроля температуры реакции, обеспечивая превосходное осаждение алмазов без каких-либо компромиссов. Модернизируйте свой процесс производства алмазов с помощью KINTEK и почувствуйте разницу в качестве и эффективности. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о наших передовых решениях.
