Основное различие между тонкопленочными и толстопленочными покрытиями заключается в их толщине и обусловленных ею свойствах. Толщина тонких пленок обычно составляет от нескольких нанометров до нескольких микрометров, в то время как толстые пленки, как правило, толще тонких. Эта разница в толщине существенно влияет на поведение и применение таких покрытий.
Толщина и поведение:
Тонкие пленки ведут себя иначе, чем основной материал, из-за своей малой толщины, что влияет на их физические, химические и механические свойства. Например, при толщине около 100 нм такие материалы, как TiO2, SiO2 и Ta2O5, проявляют свойства тонкой пленки, отличные от их объемных аналогов. Однако алюминиевая пленка той же толщины ведет себя скорее как объемный материал, что говорит о том, что не все материалы с одинаковой толщиной будут проявлять тонкопленочные свойства. Это различие имеет решающее значение для определения полезности покрытия для конкретных применений.Свойства и применение:
Тонкопленочные покрытия ценятся за свои уникальные свойства, которые могут улучшить характеристики субстратов. Они могут быть прозрачными, прочными, изменять электропроводность или передачу сигнала. Например, хромовые пленки используются для создания твердых металлических покрытий на автомобильных деталях, защищая их от ультрафиолетовых лучей и экономя при этом расход материалов. Тонкие пленки также необходимы в полупроводниковой и других отраслях промышленности, где требуются покрытия толщиной в несколько микрон. Они изменяют поверхностное взаимодействие подложки, обеспечивая функциональные возможности, недоступные для объемного материала.
Методы осаждения: