Когда речь идет о напылении, существует два основных метода: RF (радиочастотное) и DC (постоянный ток) напыление.
Основное различие между этими двумя методами заключается в источнике питания и в том, как он ионизирует газ и распыляет материал мишени.
1. Источник питания и требования к давлению
Напыление постоянным током
В напылении постоянным током используется источник постоянного тока.
Для этого источника питания обычно требуется напряжение 2 000-5 000 вольт.
Он работает при более высоком давлении в камере, около 100 мТорр.
Это может привести к большему количеству столкновений между заряженными частицами плазмы и материалом мишени.
Радиочастотное напыление
При радиочастотном напылении используется источник переменного тока.
Этот источник питания работает на частоте 13,56 МГц и требует напряжения 1 012 вольт или выше.
Он может поддерживать газовую плазму при значительно более низком давлении, менее 15 мТорр.
Это уменьшает количество столкновений и обеспечивает более прямой путь для напыления.
2. Пригодность материала мишени
Напыление на постоянном токе
Напыление постоянным током идеально подходит для проводящих материалов.
Оно напрямую ионизирует газовую плазму с помощью электронной бомбардировки.
Однако это может привести к накоплению заряда на непроводящих мишенях.
Это накопление заряда отталкивает дальнейшую ионную бомбардировку и может остановить процесс напыления.
Радиочастотное напыление
ВЧ-напыление эффективно как для проводящих, так и для непроводящих материалов.
Переменный ток предотвращает накопление заряда на мишени.
Он нейтрализует положительные ионы, собирающиеся на поверхности мишени во время положительного полуцикла.
Во время отрицательного полуцикла он распыляет атомы мишени.
3. Механизм напыления
Напыление постоянным током
Напыление постоянным током предполагает прямую ионную бомбардировку мишени энергичными электронами.
Это может привести к возникновению дуги и прекращению процесса напыления, если мишень непроводящая.
ВЧ-напыление
В радиочастотном напылении используется кинетическая энергия для удаления электронов из атомов газа.
В результате образуется плазма, способная эффективно напылять как проводящие, так и непроводящие мишени без риска накопления заряда.
4. Частота и разряд
Радиочастотное напыление
Для радиочастотного напыления требуется частота 1 МГц или выше.
Это очень важно для поддержания процесса напыления на непроводящих материалах.
Напыление постоянным током
Напыление на постоянном токе не требует высоких частот для разряда.
Это делает его более простым с точки зрения требований к источнику питания, но менее универсальным для различных целевых материалов.
Продолжайте изучение, обратитесь к нашим экспертам
Откройте для себя точность и универсальность систем напыления KINTEK SOLUTION! Независимо от того, работаете ли вы с проводящими или непроводящими материалами, наши передовые технологии напыления на радиочастотном и постоянном токе обеспечивают оптимальный перенос материала и снижение накопления заряда. Уделяя особое внимание эффективности и простоте использования, наша продукция призвана расширить ваши исследовательские и производственные возможности.Ознакомьтесь с нашими передовыми решениями и поднимите свои процессы напыления на новый уровень уже сегодня!
