Техническая команда · Kintek Solution

Мишени для напыления являются критически важными компонентами в процессах осаждения тонких пленок, и их технические характеристики гораздо более строгие, чем у традиционных материалов.Эти требования включают размер, плоскостность, чистоту, содержание примесей, плотность, размер зерна и контроль дефектов.Кроме того, к ним предъявляются повышенные или особые требования, такие как шероховатость поверхности, стойкость, однородность размера зерна, однородность состава и ткани, содержание и размер оксидов, магнитная проницаемость, сверхвысокая плотность и сверхмелкие зерна.Форма мишеней для напыления может быть различной, наиболее распространенными являются плоские и цилиндрические, а их конструкция часто включает металлический держатель с каналами водяного охлаждения.Качество этих мишеней имеет первостепенное значение, поскольку примеси, крупные зерна или шероховатые поверхности могут привести к дефектам тонкой пленки.Конкретные материалы, такие как платиновые (Pt) мишени для напыления, имеют свой собственный уникальный набор спецификаций, включая тип материала, атомный вес, теплопроводность, температуру плавления и многое другое.

Объяснение ключевых моментов:

1. Размер и форма:

   • Плоские мишени:Легче и дешевле заменить, широко используются в различных системах напыления.
   • Цилиндрические/кольцеобразные мишени:Требуются для специальных конструкций камер, более дорогие из-за сложной формы.
   • Металлический держатель:Мишени часто приклеиваются к металлическому держателю, который включает каналы водяного охлаждения для управления теплом во время процесса напыления.

2. Качество материала:

   • Чистота:Высокая чистота необходима для предотвращения дефектов в тонкой пленке.Примеси могут привести к ухудшению свойств пленки.
   • Размер зерна:Предпочтительны мелкие зерна, так как крупные зерна могут негативно повлиять на свойства пленки.
   • Состояние поверхности:Гладкие поверхности очень важны; шероховатые поверхности могут привести к дефектам пленки.

3. Физические и химические свойства:

   • Плотность:Сверхвысокая плотность часто требуется для обеспечения целостности материала мишени в процессе напыления.
   • Контроль дефектов:Минимизация дефектов имеет решающее значение для предотвращения загрязнения и обеспечения высокого качества тонких пленок.
   • Однородность состава и тканей:Однородный состав и структура ткани необходимы для равномерного осаждения пленки.

4. Особые требования:

   • Шероховатость поверхности:Низкая шероховатость поверхности необходима для предотвращения дефектов пленки.
   • Сопротивление:В зависимости от области применения могут потребоваться специальные уровни стойкости.
   • Равномерность размера зерна:Равномерный размер зерен обеспечивает стабильные свойства пленки.
   • Содержание и размер оксидов:Для поддержания качества пленки необходимо контролировать содержание и размер оксидов.
   • Магнитная проницаемость:Для некоторых областей применения могут потребоваться особые магнитные свойства.
   • Сверхмелкие зерна:Очень мелкое зерно часто необходимо для высокопроизводительных приложений.

5. Пример конкретного материала - платиновые (Pt) мишени для напыления:

   • Тип материала:Платина
   • Символ:Pt
   • Атомный вес:195.084
   • Атомный номер: 78
   • Цвет/внешний вид:Серый металлик
   • Теплопроводность: 72 Вт/м.К
   • Температура плавления:1,772°C
   • Коэффициент теплового расширения: 8.8 x 10-6/K
   • Теоретическая плотность: 21,45 г/куб. см
   • Соотношение Z:0.245
   • Напыление:DC
   • Максимальная плотность мощности:100 Вт/кв. дюйм
   • Тип соединения:Индий, эластомер
   • Дополнительные комментарии:Платина сплавляется с другими металлами, и пленки из нее получаются мягкими, с плохой адгезией.

6. Факторы эффективности.:

   • Состав:Состав материала играет важную роль в его эффективности.
   • Тип ионов:Тип ионов, используемых для разрушения материала мишени, может повлиять на процесс напыления и качество получаемой пленки.

Таким образом, для обеспечения высококачественного осаждения тонких пленок мишени для напыления должны отвечать целому ряду строгих технических требований.Эти спецификации охватывают физические размеры, качество материала и различные специальные требования, которые имеют решающее значение для производительности и надежности процесса напыления.Конкретные материалы, такие как платина, обладают своим уникальным набором свойств, которые необходимо тщательно контролировать для достижения желаемых характеристик пленки.

Сводная таблица:

Спецификация	Подробности
Размер и форма	Плоские или цилиндрические формы; металлические держатели с каналами водяного охлаждения.
Качество материала	Высокая чистота, малый размер зерна, гладкая поверхность.
Физические свойства	Сверхвысокая плотность, контроль дефектов, однородный состав.
Специальные требования	Низкая шероховатость поверхности, контролируемое содержание оксидов, ультрамелкое зерно.
Пример платины (Pt)	Высокая теплопроводность, температура плавления: 1 772°C, теоретическая плотность: 21,45 г/куб. см.

Нужны высококачественные мишени для напыления, отвечающие вашим требованиям? Свяжитесь с нами сегодня для получения квалифицированных рекомендаций!