Вакуумное испарение - это процесс, в котором материалы нагреваются для формирования тонких пленок или покрытий на различных подложках. Этот процесс происходит в вакуумной среде, чтобы предотвратить загрязнение и гарантировать, что только нужный материал образует тонкую пленку.
7 ключевых моментов: Какие материалы используются в вакуумном испарении?
1. Определение и назначение материалов для выпаривания
Испарительные материалы - это вещества, используемые для формирования тонких пленок или покрытий на поверхностях с помощью процесса испарения.
Эти материалы нагревают до высоких температур, пока они не испарятся. Затем испарившийся материал конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.
2. Испарительные лодки
Испарительные лодки - это важные материалы для термического испарения. Они часто изготавливаются из вольфрама, молибдена и тантала.
Эти лодочки содержат такое сырье, как порошок BN, TiB2 и AlN. Разновидности включают 3-компонентные и 2-компонентные лодочки.
3. Нагреватели корзин
Корзиночные нагреватели позволяют загружать испаряемый материал непосредственно в корзину без тигля.
Выбор источника испарения определяется подложкой, на которую наносится покрытие, что обеспечивает соответствие между источником и подложкой.
4. Процесс вакуумного испарения
Вакуумное испарение происходит при давлении газа в диапазоне от 10-5 до 10-9 Торр для предотвращения загрязнения.
Испаряемый материал должен достичь температуры, при которой давление его паров составляет 10 мТорр или выше, чтобы скорость осаждения была заметной.
Типичными источниками испарения являются резистивно нагреваемые многожильные провода, лодочки или тигли, а также высокоэнергетические электронные пучки.
5. Косвенный нагрев
Некоторые материалы склонны к эрозии при прямом воздействии высоких температур, что делает необходимым косвенный нагрев.
Для изготовления тиглей косвенного нагрева используются такие жаропрочные и стабильные материалы, как глинозем, оксид иттрия или диоксид циркония.
6. Материалы для термического испарения
В вакуумном испарении может использоваться широкий спектр материалов, включая золото, серебро, титан, диоксид кремния, вольфрам, медь и различные сплавы.
Эти материалы выбираются в зависимости от их совместимости с подложкой и желаемых характеристик пленки.
7. Исторический контекст
Изучение термического испарения в вакууме началось в конце XIX века, и первые работы в этой области проводили такие ученые, как Г. Герц и С. Стефан.
Томас Эдисон подал заявку на патент на вакуумное испарение и осаждение пленок, хотя его процесс не предполагал испарения расплавленных материалов.
Понимая эти ключевые моменты, покупатель лабораторного оборудования может принимать обоснованные решения о выборе и использовании испарительных материалов в процессах вакуумного испарения, обеспечивая наилучшие результаты для своих конкретных задач.
Продолжайте изучение, обратитесь к нашим экспертам
Откройте для себя точность и надежность наших испарительных материалов, разработанных для оптимального осаждения тонких пленок. Передовые испарительные лодки, нагреватели корзин и широкий ассортимент материалов для термического испарения от KINTEK SOLUTION повысят эффективность ваших исследований и производственных процессов.
Не упустите возможность воспользоваться нашим опытом для вашего следующего проекта. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать, как KINTEK SOLUTION может преобразить ваши задачи с помощью прецизионных решений для выпаривания.
