Испарительные материалы - это вещества, используемые для формирования тонких пленок или покрытий на поверхностях с помощью процесса испарения. Эти материалы нагревают до высокой температуры, пока они не начнут испаряться. Находясь в вакуумной среде, испарившийся материал направляется непосредственно к поверхности объекта, обычно подложки, на которую наносится покрытие. Там испаренный материал начинает конденсироваться и формировать тонкую пленку на подложке.
Материалы, используемые при испарении:
Материалы, используемые при испарении, варьируются от чистых металлов до различных соединений, таких как антимониды, арсениды, бориды, карбиды, фториды, нитриды, оксиды, селениды, силициды, сульфиды и теллуриды. В качестве примера можно привести золото, которое широко используется в оптических покрытиях, а также различные оксиды и нитриды, которые играют важную роль в производстве солнечных батарей и датчиков.Уровни чистоты:
Уровень чистоты испарительных материалов очень важен и обычно составляет от 99,9 до 99,99999 %, в зависимости от области применения. Высокая степень чистоты необходима для обеспечения целостности и эффективности покрытий, особенно в таких чувствительных областях применения, как оптические компоненты и медицинские приборы.
Формы испарительных материалов:
- Испарительные материалы бывают различных форм, включая куски, фольгу, гранулы, проволоку, стержни, дробь и пули. Выбор формы зависит от конкретной техники испарения и удобства обращения с ними и нагрева в процессе испарения.Методы термического испарения:
- Для термического выпаривания используется несколько методов, в том числе:
- Выпаривание с резистивным нагревом: Материал нагревается в тигле с резистивным нагревом, и пар конденсируется на подложке.
- Электронно-лучевое испарение: Электронный луч фокусируется на материале, что приводит к его быстрому нагреву и испарению.
Вспышечное испарение: Материал быстро нагревается до температуры испарения с помощью сильноточного импульса или интенсивного источника тепла.
Выпаривание с индукционным нагревом: Индукционный нагрев вызывает токи в исходном материале, что приводит к нагреву и испарению.
Источники испарителя:
