При термическом испарении обычно используется двухкомпонентная керамическая лодочка.
Она изготавливается из комбинации диборида титана и нитрида бора.
Такое сочетание выбрано потому, что оно способно выдерживать высокие температуры.
Она также сохраняет электропроводность и остается инертной к расплавленным металлам, особенно к алюминию.
Из чего сделана широко используемая в термическом испарении лодка? (4 ключевых момента)
1. Состав материала
Испарительная лодка изготавливается из смеси диборида титана (TiB2) и нитрида бора (BN).
Диборид титана выбран за его отличную термостойкость и инертность к расплавам цветных металлов.
Он также улучшает смачиваемость лодки жидким алюминием, что очень важно для процессов, связанных с осаждением алюминия из паровой фазы.
Нитрид бора добавляется для регулировки электрического сопротивления лодочки, так как он является непроводящим материалом.
2. Функциональность
Основная функция испарительной лодки - служить вместилищем для испаряемого материала, как правило, металла, например алюминия.
Она служит в качестве электрического нагревателя сопротивления, где лодка и непрерывно подаваемая металлическая проволока нагреваются в условиях высокого вакуума за счет протекания тока.
В процессе нагрева проволока расплавляется, а затем испаряется, что облегчает процесс осаждения тонких пленок.
3. Эксплуатационные требования
Лодка должна работать при температуре, значительно превышающей температуру испарения содержащегося в ней материала.
Это требование обеспечивает эффективное и равномерное испарение материала.
Конструкция и состав материала лодки имеют решающее значение для поддержания таких высоких температур без деградации или реакции с расплавленным металлом.
4. Универсальность и персонализация
Испарительные лодки популярны в различных процессах нанесения тонкопленочных покрытий благодаря простоте использования и широкому диапазону производительности.
Они могут быть изготовлены на заказ в соответствии с конкретными потребностями, обеспечивая совместимость с различными материалами и скоростями испарения.
Продолжайте изучать, проконсультируйтесь с нашими специалистами
Откройте для себя превосходное качество и инновационный дизайн нашихKINTEK SOLUTION испарительные лодки.
Они изготовлены из тщательно подобранной смеси диборида титана и нитрида бора, обеспечивающей непревзойденную термостойкость и химическую инертность.
Доверьтесь нашему опыту, чтобы найти идеальное решение для вашихосаждения алюминия из паровой фазы и усовершенствовать ваши процессы нанесения тонкопленочных покрытий с помощью специальных возможностей.
Свяжитесь с KINTEK SOLUTION сегодня и убедитесь в надежности и точности, которые отличают нас в отрасли!
