Цель использования аргона в процессе напыления обусловлена прежде всего его инертностью, высокой скоростью напыления, низкой стоимостью и доступностью в высокой степени чистоты. Аргон служит средой для создания ионов, которые бомбардируют материал мишени, способствуя осаждению тонких пленок на подложку.
Инертность и высокая скорость напыления:
Аргон - инертный газ, то есть он не вступает в реакцию с другими элементами. Это свойство очень важно для напыления, поскольку оно гарантирует, что ионы аргона, которые ускоряются по направлению к материалу мишени, не вступают в химическое взаимодействие с мишенью или осаждаемой пленкой. Инертность аргона помогает сохранить целостность и желаемые свойства осаждаемой тонкой пленки. Кроме того, аргон обладает большой массой, что повышает эффективность его напыления. Когда ионы аргона сталкиваются с материалом мишени, им передается значительная кинетическая энергия, что приводит к увеличению скорости выброса и осаждения материала мишени на подложку.Низкая стоимость и доступность:
Аргон относительно недорог и широко доступен в высокой степени чистоты, что делает его экономически выгодным выбором для промышленных и исследовательских применений. Экономическая эффективность аргона особенно важна для процессов, требующих больших объемов газа, как это часто бывает при напылении.
Роль в процессе напыления:
В установке для напыления газ аргон вводится в вакуумную камеру, где он ионизируется свободными электронами. Затем эти ионы аргона притягиваются электрическим полем к отрицательно заряженному катоду (материалу мишени). При столкновении с мишенью ионы аргона вызывают выброс атомов из мишени и их последующее осаждение на подложку. Этот процесс имеет решающее значение для формирования тонких пленок с точными и контролируемыми свойствами.
Универсальность методов напыления:
