Материалы, используемые в источниках термического испарения, в основном включают вольфрам, молибден и тантал. Эти материалы выбирают за их высокую чистоту, высокие температуры плавления и низкое давление паров, что делает их подходящими для источников испарения с резистивным нагревом. Эти источники выпускаются в различных формах, таких как лодочки, корзины, нити и стержни с покрытием, каждый из которых предназначен для различных типов испарителей и применений.
Вольфрам, молибден и тантал: Эти материалы широко используются при изготовлении источников испарения благодаря своим огнеупорным свойствам. Они могут выдерживать высокие температуры без значительного разрушения, что очень важно для процесса испарения, когда исходный материал нагревается до температуры плавления или выше, чтобы испариться и осадиться на подложке.
Формы источников испарения:
- Лодки: Они широко используются и бывают разных размеров. Более крупные лодки требуют большей мощности для той же скорости осаждения, но могут выдерживать более высокие максимальные скорости осаждения.
- Корзины: Они подходят для поддержки тиглей и используются для материалов, которые могут потребовать удержания во время испарения.
- Филаменты: Обычно используются для материалов, которые можно испарять при более низких температурах, или для небольших масштабов применения.
- Стержни с покрытием: Используются в тех случаях, когда требуется специальное покрытие поверхности для улучшения процесса испарения или предотвращения загрязнения.
Применение и дизайн:
Конструкция источника испарения имеет решающее значение для конкретных применений, таких как OLED/многослойное покрытие в производстве плоских дисплеев. Источники специально разработаны для оптимизации процесса испарения, обеспечивая эффективное и равномерное осаждение материалов.Источник питания и управление:
Источники термического испарения обычно требуют источника электроэнергии с низким напряжением и высоким током. Потребность в электроэнергии обычно высока, особенно для лодочных источников испарения. Для контроля скорости испарения и скорости осаждения в системах термического испарения часто используются кварцевые микровесы (QCM) и другие программные или аппаратные конфигурации для управления скоростью испарения и свойствами пленки.
Испаряемые материалы:
