Различные типы напыления включают диодное напыление постоянным током, радиочастотное диодное напыление, магнетронное диодное напыление и напыление ионным пучком.
1. Диодное напыление на постоянном токе: При диодном напылении постоянным током между мишенью и подложкой поджигается плазма газообразного аргона низкого давления с постоянным напряжением 500-1000 В. Положительные ионы аргона осаждают атомы из мишени, которые затем мигрируют на подложку и конденсируются там. Однако при таком способе можно напылять только электропроводники, и при этом достигается низкая скорость напыления.
2. ВЧ-диодное напыление: ВЧ-диодное распыление предполагает использование радиочастотного (ВЧ) излучения для создания плазмы между мишенью и подложкой. Радиочастотное излучение используется для ионизации газа аргона и ускорения ионов по направлению к мишени, вызывая распыление. Этот метод обеспечивает более высокую скорость напыления по сравнению с диодным напылением на постоянном токе и может применяться как для проводящих, так и для изолирующих материалов.
3. Магнетронное диодное распыление: Магнетронное диодное распыление - это разновидность ВЧ-диодного распыления, при котором вблизи поверхности мишени прикладывается магнитное поле. Магнитное поле захватывает электроны вблизи мишени, повышая плотность плазмы и увеличивая скорость напыления. Этот метод широко используется для осаждения металлических пленок с высокой адгезией и плотностью.
4. Ионно-лучевое распыление: Ионно-лучевое распыление предполагает использование высокоэнергетического ионного пучка для распыления атомов из материала мишени. Ионный пучок генерируется путем ионизации газа, например аргона, и ускорения ионов по направлению к мишени. Этот метод позволяет точно контролировать процесс напыления и часто используется для осаждения высококачественных тонких пленок с низким уровнем загрязнения.
Каждый тип напыления имеет свои преимущества и ограничения, и выбор метода зависит от конкретных требований к нанесению покрытия.
Ищете высококачественное лабораторное оборудование для напыления? Обратите внимание на компанию KINTEK! Мы предлагаем широкий спектр напылительных систем, включая диодное напыление на постоянном токе, ВЧ-диодное напыление, магнетронное диодное напыление и напыление ионным пучком. Если вам необходимо осаждать тонкие пленки на электропроводники или производить композиционные покрытия, наше надежное оборудование удовлетворит ваши потребности. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше о наших решениях в области напыления и поднять свои исследования на новый уровень!
