Толщина напыляемого покрытия для РЭМ обычно составляет от 2 до 20 нанометров (нм). Это ультратонкое покрытие наносится на непроводящие или плохо проводящие образцы для предотвращения заряда и повышения соотношения сигнал/шум при визуализации. Выбор металла (например, золота, серебра, платины или хрома) зависит от конкретных требований к образцу и типа проводимого анализа.
Подробное объяснение:
-
Цель нанесения покрытия методом напыления:
-
Напыление очень важно для SEM, поскольку оно наносит проводящий слой на образцы, которые не являются проводящими или имеют плохую проводимость. Такое покрытие помогает предотвратить накопление статических электрических полей, которые могут исказить изображение или повредить образец. Кроме того, оно увеличивает эмиссию вторичных электронов, тем самым улучшая качество изображений, полученных с помощью РЭМ.Диапазон толщины:
-
Типичная толщина напыленных пленок для РЭМ составляет от 2 до 20 нм. Этот диапазон выбран для того, чтобы покрытие было достаточно тонким, чтобы не затенять мелкие детали образца, но достаточно толстым, чтобы обеспечить достаточную проводимость. Для РЭМ с малым увеличением достаточно покрытий толщиной 10-20 нм, которые не влияют на визуализацию. Однако для РЭМ с большим увеличением и разрешением менее 5 нм предпочтительны более тонкие покрытия (до 1 нм), чтобы не заслонять детали образца.
-
Типы материалов покрытий:
Распространенные материалы, используемые для нанесения покрытий методом напыления, включают золото, серебро, платину и хром. Каждый материал имеет свои преимущества в зависимости от образца и типа анализа. Например, золото часто используется из-за его превосходной проводимости, а платина может быть выбрана из-за ее долговечности. В некоторых случаях предпочтительнее использовать углеродные покрытия, особенно для рентгеновской спектроскопии и дифракции обратного рассеяния электронов (EBSD), где металлические покрытия могут помешать анализу зерновой структуры образца.
Оборудование и методики:
