Напыление для РЭМ обычно включает в себя нанесение ультратонкого слоя металла, такого как золото, золото/палладий, платина, серебро, хром или иридий, на непроводящие или плохо проводящие образцы.
Цель такого покрытия - предотвратить зарядку образца и улучшить соотношение сигнал/шум за счет увеличения эмиссии вторичных электронов.
Толщина напыляемых пленок обычно составляет от 2 до 20 нм.
5 ключевых моментов, касающихся толщины напыляемых покрытий
1. Диапазон толщины
Стандартная толщина напыляемых покрытий, используемых в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), составляет от 2 до 20 нм.
Этот диапазон выбран для того, чтобы покрытие было достаточно тонким, чтобы не затенять мелкие детали образца, но достаточно толстым, чтобы обеспечить достаточную электропроводность и предотвратить зарядку.
2. Конкретные примеры
6-дюймовая пластина была покрыта 3 нм золота/палладия с помощью SC7640 Sputter Coater, что демонстрирует возможность получения еще более тонких покрытий (до 3 нм) с помощью высокоточного оборудования.
На ТЕМ-изображении видна напыленная платиновая пленка толщиной 2 нм, что свидетельствует о возможности получения очень тонких покрытий, пригодных для получения изображений высокого разрешения.
3. Расчет толщины
Эксперименты с использованием интерферометрических методов позволили получить формулу для расчета толщины покрытий Au/Pd: [ Th = 7,5 I t \text{ (ангстремы)} ], где ( Th ) - толщина в ангстремах, ( I ) - ток в мА, а ( t ) - время в минутах.
Эта формула применима при определенных условиях (V = 2,5KV, расстояние от мишени до образца = 50 мм).
4. Равномерность и точность покрытия
Высокотехнологичные напылительные установки, оснащенные такими функциями, как высокий вакуум, среда инертного газа и мониторы толщины пленки, позволяют наносить покрытия толщиной до 1 нм.
Эти высокоточные инструменты очень важны для приложений, требующих высокого разрешения, таких как EBSD-анализ, где важны даже мельчайшие детали.
5. Влияние толщины покрытия на получение изображений
Для РЭМ с высоким разрешением (<5 нм) толщина покрытия в 10-20 нм может начать заслонять более мелкие детали образца.
Поэтому предпочтительнее использовать более тонкие покрытия, чтобы сохранить целостность поверхностных характеристик образца.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Откройте для себя точность и универсальность нашихСистемы напыления покрытий KINTEK SOLUTIONразработанные для улучшения качества ваших изображений, полученных с помощью РЭМ.
Непревзойденные возможности позволяют получать ультратонкие покрытия толщиной всего до1 нмнаше оборудование обеспечивает оптимальное соотношение сигнал/шум и сохраняет мелкие детали ваших образцов.
Доверьтесь KINTEK SOLUTION для получения высококачественных напыляемых покрытий, которые будут способствовать развитию ваших исследований.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы поднять свой анализ методом РЭМ на новую высоту четкости и детализации.
