Знание Как охлаждается электронно-лучевой испаритель во время осаждения? (3 основных метода)
Аватар автора

Техническая команда · Kintek Solution

Обновлено 4 недели назад

Как охлаждается электронно-лучевой испаритель во время осаждения? (3 основных метода)

Электронно-лучевой испаритель - это сложное оборудование, используемое в различных научных и промышленных приложениях, в частности для осаждения тонких пленок. Одним из важнейших аспектов его работы является охлаждение, которое обеспечивает способность устройства выдерживать высокие температуры, возникающие в процессе осаждения.

3 основных метода охлаждения электронно-лучевого испарителя

Как охлаждается электронно-лучевой испаритель во время осаждения? (3 основных метода)

1. Конструкция очага с водяным охлаждением

Очаг электронно-лучевого испарителя - это место, куда помещается испаряемый материал. Очаг обычно изготавливается из меди - материала с высокой теплопроводностью. Система водяного охлаждения встроена в конструкцию очага, вода циркулирует вокруг или через медь для поглощения и рассеивания тепла, генерируемого электронным пучком. Этот механизм охлаждения предотвращает плавление или разрушение очага под воздействием сильного тепла, обеспечивая структурную целостность и долговечность испарителя.

2. Функциональность во время осаждения

Во время работы электронный луч, испускаемый нитью накала и ускоряемый высоким напряжением, фокусируется на испарителе внутри очага. Кинетическая энергия электронов при ударе преобразуется в тепловую, в результате чего испаритель испаряется. При этом выделяется значительное количество тепла, поскольку процесс предназначен для испарения материалов с высокой температурой плавления. Непрерывный поток воды через систему охлаждения поддерживает безопасную рабочую температуру очага, предотвращая любые повреждения или нежелательные реакции, которые могут повлиять на чистоту и качество осажденной пленки.

3. Важность охлаждения

Эффективное охлаждение необходимо не только для целостности испарителя, но и для качества получаемых тонких пленок. Перегрев очага может привести к загрязнению испаряемого материала, так как материал самого очага может начать испаряться и смешиваться с предполагаемым испарителем. Это нарушит чистоту и необходимые свойства осажденной пленки. Кроме того, поддержание стабильной температуры помогает контролировать скорость осаждения и обеспечивает воспроизводимость результатов, что очень важно в таких областях, как нанесение оптических покрытий и производство полупроводников.

Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам

Откройте для себя вершину точности и надежности с электронно-лучевыми испарителями KINTEK SOLUTION. Наши современные водоохлаждаемые очаги, изготовленные из первоклассной меди и оптимизированные для обеспечения непревзойденной теплопроводности, разработаны для поддержания целостности ваших процессов осаждения. Оцените непревзойденное качество осаждения тонких пленок с помощью системы охлаждения, которая гарантирует безопасность, эффективность и чистоту ваших пленок.Доверьтесь компании KINTEK SOLUTION, которая предлагает передовые решения, способствующие развитию ваших исследований и инноваций. Свяжитесь с нами сегодня и повысьте возможности вашей лаборатории с помощью наших ведущих в отрасли технологий.

Связанные товары

Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля

Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля

При использовании методов электронно-лучевого испарения использование тиглей из бескислородной меди сводит к минимуму риск загрязнения кислородом в процессе испарения.

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Технология, в основном используемая в области силовой электроники. Это графитовая пленка, изготовленная из исходного углеродного материала путем осаждения материала с использованием электронно-лучевой технологии.

Электронно-лучевой тигель

Электронно-лучевой тигель

В контексте испарения с помощью электронного луча тигель представляет собой контейнер или держатель источника, используемый для хранения и испарения материала, который должен быть нанесен на подложку.

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.

Испарение электронного луча покрывая вольфрамовый тигель/тигель молибдена

Испарение электронного луча покрывая вольфрамовый тигель/тигель молибдена

Вольфрамовые и молибденовые тигли широко используются в процессах электронно-лучевого испарения благодаря их превосходным термическим и механическим свойствам.

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Фильера для нанесения наноалмазного композитного покрытия использует цементированный карбид (WC-Co) в качестве подложки, а для нанесения обычного алмаза и наноалмазного композитного покрытия на поверхность внутреннего отверстия пресс-формы используется метод химической паровой фазы (сокращенно CVD-метод).

испарительная лодка для органических веществ

испарительная лодка для органических веществ

Испарительная лодочка для органических веществ является важным инструментом для точного и равномерного нагрева при осаждении органических материалов.

Тигель из токопроводящего нитрида бора с электронно-лучевым напылением (тигель BN)

Тигель из токопроводящего нитрида бора с электронно-лучевым напылением (тигель BN)

Высокочистый и гладкий токопроводящий тигель из нитрида бора для покрытия методом электронно-лучевого испарения с высокой температурой и термоциклированием.

Тигель для выпаривания графита

Тигель для выпаривания графита

Сосуды для высокотемпературных применений, где материалы выдерживаются при чрезвычайно высоких температурах для испарения, что позволяет наносить тонкие пленки на подложки.

Испарительный тигель для органических веществ

Испарительный тигель для органических веществ

Тигель для выпаривания органических веществ, называемый тиглем для выпаривания, представляет собой контейнер для выпаривания органических растворителей в лабораторных условиях.

Набор керамических испарительных лодочек

Набор керамических испарительных лодочек

Его можно использовать для осаждения из паровой фазы различных металлов и сплавов. Большинство металлов можно полностью испарить без потерь. Испарительные корзины многоразовые.

Покрытие электронно-лучевым напылением/золочение/вольфрамовый тигель/молибденовый тигель

Покрытие электронно-лучевым напылением/золочение/вольфрамовый тигель/молибденовый тигель

Эти тигли действуют как контейнеры для золотого материала, испаряемого пучком электронного испарения, точно направляя электронный луч для точного осаждения.


Оставьте ваше сообщение