Емкость, в которой хранится исходный металлический материал при электронно-лучевом испарении, называется тиглем.
Пояснение:
-
Определение и функция тигля:
-
Тигель в контексте электронно-лучевого испарения - это контейнер, предназначенный для хранения исходного материала, подлежащего испарению. Тигель помещается в высоковакуумную камеру и является мишенью для сфокусированного электронного пучка. Основная функция тигля - надежно удерживать материал, пока он нагревается электронным пучком до температуры испарения.Материал и конструкция тиглей:
-
Тигли, используемые в электронно-лучевом испарении, обычно изготавливаются из материалов с высокой температурой плавления, чтобы выдержать интенсивное тепло, генерируемое электронным пучком. Обычные материалы для изготовления тиглей - медь, вольфрам и керамика, особенно нитрид бора. Выбор материала зависит от типа исходного материала и температурных требований процесса испарения. Например, для высокотемпературных материалов предпочтительнее использовать керамические тигли, чтобы предотвратить химическое взаимодействие между тиглем и исходным материалом.
-
Системы охлаждения:
-
Чтобы предотвратить нагрев самого тигля до высоких температур, что может привести к его повреждению или нежелательным реакциям, тигли часто оснащаются системами водяного охлаждения. Этот механизм охлаждения гарантирует, что электронный луч нагревает только исходный материал, а тигель остается при безопасной рабочей температуре.Конфигурация и работа с несколькими материалами:
Современные системы электронно-лучевого испарения могут содержать несколько тиглей, что позволяет последовательно осаждать различные материалы без нарушения вакуума. Такая конфигурация особенно полезна для приложений, требующих многослойных покрытий. Тигли можно поворачивать или располагать таким образом, чтобы электронный луч мог нацеливаться и испарять каждый исходный материал по очереди, что облегчает сложные процессы нанесения покрытий.
