Для очистки мишени для напыления выполните следующие действия:
Шаг 1: Протрите мишень мягкой безворсовой тканью, смоченной в ацетоне. Это поможет удалить пыль и грязь, которые могут присутствовать на поверхности мишени.
Шаг 2: Протрите поверхность спиртом. Этот шаг помогает удалить любые загрязнения или остатки на мишени.
Шаг 3: Очистка деионизированной водой. Деионизированная вода используется для того, чтобы тщательно удалить с мишени все оставшиеся загрязнения и остатки.
Шаг 4: После очистки деионизированной водой поместите мишень в печь и высушите при температуре 100 ℃ в течение 30 минут. Этот шаг важен для обеспечения полного высыхания мишени перед дальнейшим использованием.
Помимо очистки мишени для напыления, необходимо также соблюдать некоторые меры предосторожности в процессе напыления:
1. Подготовка к напылению: Важно содержать вакуумную камеру и систему напыления в чистоте. Любые остатки или загрязнения могут увеличить вероятность разрушения пленки или короткого замыкания в системе.
2. Установка мишени: Обеспечьте хорошее тепловое соединение между мишенью и стабилизирующей стенкой распылительной пушки. Если охлаждающий клёп или опорная пластина деформированы, это может повлиять на теплопроводность и привести к растрескиванию или изгибу мишени.
3. Поддерживайте чистоту напыляющего газа: Напыляющий газ, например аргон или кислород, должен быть чистым и осушенным для сохранения характеристик состава покрытия.
В целом, очистка и обслуживание мишени для напыления имеют решающее значение для достижения высокого качества осаждения тонких пленок и предотвращения любых возможных проблем в процессе напыления.
Ищете высококачественное лабораторное оборудование для напыления? Обратите внимание на компанию KINTEK! Широкий ассортимент наших мишеней для напыления разработан с учетом требований полупроводниковой промышленности. Благодаря нашему опыту в области материаловедения и передовым технологиям производства мы обеспечиваем исключительную производительность и долговечность наших мишеней. Не ставьте под угрозу качество ваших тонких пленок - выбирайте KINTEK для надежных и эффективных решений по напылению. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше!
