Очистка мишени для напыления имеет решающее значение для достижения высокого качества осаждения тонких пленок.
Вот пошаговое руководство по обеспечению чистоты и готовности к работе вашей мишени для напыления.
Как очистить мишень для напыления? 4 основных шага и меры предосторожности
Шаг 1: Протрите мишень мягкой безворсовой тканью, смоченной в ацетоне.
Это поможет удалить пыль и грязь, которые могут присутствовать на поверхности мишени.
Шаг 2: Очистите спиртом
Этот шаг помогает удалить любые загрязнения или остатки на мишени.
Шаг 3: Очистка деионизированной водой
Деионизированная вода используется для того, чтобы убедиться, что все оставшиеся загрязнения или остатки тщательно удалены с мишени.
Шаг 4: Высушите мишень в печи
После очистки деионизированной водой поместите мишень в печь и высушите при температуре 100 ℃ в течение 30 минут.
Этот шаг важен для обеспечения полной сухости мишени перед дальнейшим использованием.
Меры предосторожности во время процесса напыления
1. Подготовка к напылению
Важно содержать вакуумную камеру и систему напыления в чистоте.
Любые остатки или загрязнения могут увеличить вероятность разрушения пленки или короткого замыкания в системе.
2. Установка мишени
Обеспечьте хорошее тепловое соединение между мишенью и стабилизирующей стенкой пистолета для напыления.
Если охлаждающий клёп или опорная пластина деформированы, это может повлиять на теплопроводность и привести к растрескиванию или изгибу мишени.
3. Поддерживайте чистоту напыляющего газа
Газ для напыления, например аргон или кислород, должен быть чистым и высушенным, чтобы сохранить характеристики состава покрытия.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим специалистам
Ищете высококачественное лабораторное оборудование для напыления?
Обратите внимание на KINTEK! Наш широкий ассортимент мишеней для напыления разработан с учетом требований полупроводниковой промышленности.
Благодаря нашему опыту в области материаловедения и передовым технологиям производства мы гарантируем, что наши мишени обладают исключительной производительностью и долговечностью.
Не идите на компромисс с качеством ваших тонких пленок - выбирайте KINTEK для надежных и эффективных решений по напылению.
Свяжитесь с нами сегодня, чтобы узнать больше!
