Для очистки мишени для напыления можно выполнить следующие действия:
1. Протрите мишень мягкой безворсовой тканью, смоченной в ацетоне. Это поможет удалить пыль и грязь, которые могут присутствовать на поверхности мишени.
2. Очистка спиртом. Используйте чистую ткань, смоченную в спирте, для дополнительной очистки мишени и удаления оставшихся загрязнений.
3. Очистка деионизированной водой. Промойте мишень деионизированной водой, чтобы убедиться, что все следы ацетона и спирта удалены.
4. Высушите мишень. После очистки деионизированной водой поместите мишень в печь и высушите ее при температуре 100 ℃ в течение 30 минут. Это обеспечит полное высыхание мишени перед дальнейшим использованием.
Помимо процесса очистки, при использовании мишеней для напыления необходимо помнить о некоторых мерах предосторожности:
1. Подготовка к напылению: Важно содержать вакуумную камеру и систему напыления в чистоте. Любые остатки или загрязнения могут увеличить вероятность разрушения пленки. Очищайте камеры напыления, распылительные пистолеты и мишени для напыления, чтобы избежать коротких замыканий в системе, дугообразования в мишени и образования шероховатой поверхности.
2. Установка мишени: При установке мишени необходимо обеспечить хорошее тепловое соединение между мишенью и стабилизирующей стенкой распылительного пистолета. Если охлаждающая клеть или опорная пластина деформирована, это может привести к растрескиванию или изгибу мишени, что нарушит теплопроводность и приведет к повреждению мишени.
3. Оптимизация использования мишени: В системах напыления мишень представляет собой сплошной кусок материала, который будет напыляться для нанесения тонкопленочного покрытия. Убедитесь, что мишень достаточно велика, чтобы избежать непреднамеренного напыления других компонентов. Обратите внимание на участки на поверхности мишени, где преобладает эффект напыления, называемые "гоночными треками", поскольку их, возможно, придется устранить или заменить.
4. Мишень для напыления кремния: Если вы работаете с мишенью для напыления кремния, важно выбрать мишень, изготовленную с использованием соответствующих процессов и методов. К ним относятся гальваника, напыление и осаждение из паровой фазы. Кроме того, для достижения желаемого состояния поверхности могут потребоваться процессы очистки и травления.
Соблюдение этих правил и мер предосторожности позволит эффективно очищать и использовать напыляемые мишени в процессе напыления.
Ищете высококачественное лабораторное оборудование для напыления? Обратите внимание на компанию KINTEK! Наша продукция отвечает самым высоким стандартам чистоты и термостабильности, обеспечивая оптимальную работу камеры напыления и мишеней. Доверьте KINTEK все свои потребности в лабораторном оборудовании. Свяжитесь с нами сегодня!
