Напыление более полезно для осаждения сплавов благодаря способности поддерживать состав осаждаемой пленки аналогичным исходному материалу, отличному покрытию ступеней и способности осаждать однородные пленки с сильной адгезией.
Сохранение состава, аналогичного исходному материалу:
Напыление гарантирует, что концентрация осажденной пленки будет соответствовать концентрации исходного материала. Это особенно важно для осаждения сплавов, так как обеспечивает сохранение свойств сплава в тонкой пленке. В отличие от других методов, где производительность осаждения может зависеть от атомного веса материала, что приводит к тому, что компоненты сплава осаждаются с разной скоростью и потенциально изменяют концентрацию осажденной пленки, напыление компенсирует эти различия. Этот процесс, будучи поверхностным явлением, обогащает поверхность атомами остальных компонентов, эффективно уравновешивая различия в скоростях напыления. В результате получается пленка, концентрация которой аналогична концентрации исходного сплава-мишени.Превосходное ступенчатое покрытие:
Напыление обеспечивает превосходное покрытие ступеней, что очень важно для осаждения тонких пленок на подложки со сложным рельефом. Высокое давление в процессе напыления приводит к короткому среднему свободному пути молекул, что вызывает рассеяние распыленных атомов в воздухе. Это рассеяние увеличивает анизотропию процесса, позволяя атомам более равномерно осаждаться на подложке, в том числе на ступенях и других неровностях. Это особенно полезно для осаждения сплавов, так как обеспечивает равномерное осаждение пленки сплава на подложке, сохраняя целостность состава и свойств сплава.
Равномерные пленки с сильной адгезией:
