Недостатки ионно-лучевого распыления (IBS) в основном связаны с его ограничениями в достижении равномерного осаждения на больших площадях, высокой сложностью оборудования и эксплуатационными расходами, а также проблемами интеграции процесса для точного структурирования пленки.
1. Ограниченная целевая область и низкая скорость осаждения:
Ионно-лучевое распыление характеризуется относительно небольшой площадью мишени для бомбардировки. Это ограничение напрямую влияет на скорость осаждения, которая обычно ниже по сравнению с другими методами осаждения. Небольшая площадь мишени означает, что для больших поверхностей достижение равномерной толщины пленки является сложной задачей. Даже с такими достижениями, как распыление двойным ионным пучком, проблема недостаточной площади мишени сохраняется, что приводит к неравномерности и низкой производительности.2. Сложность и высокие эксплуатационные расходы:
Оборудование, используемое в ионно-лучевом напылении, очень сложное. Эта сложность не только увеличивает первоначальные инвестиции, необходимые для создания системы, но и приводит к повышению эксплуатационных расходов. Сложные требования к настройке и обслуживанию могут сделать IBS экономически менее выгодным вариантом для многих применений, особенно по сравнению с более простыми и экономически эффективными методами осаждения.
3. Сложность интеграции процессов для точного структурирования пленки:
IBS сталкивается с проблемами, когда речь идет об интеграции таких процессов, как подъем для структурирования пленки. Диффузный характер процесса напыления затрудняет достижение полной тени, которая необходима для ограничения осаждения атомов в определенных областях. Невозможность полностью контролировать место осаждения атомов может привести к проблемам загрязнения и трудностям в получении точных пленок с рисунком. Кроме того, активный контроль за послойным ростом в IBS более сложен по сравнению с такими методами, как импульсное лазерное осаждение, где роль распыляемых и перераспыляемых ионов регулируется легче.
4. Включение примесей:
