Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) имеет ряд преимуществ перед физическим осаждением из паровой фазы (PVD), в первую очередь благодаря технологическим характеристикам и характеру покрытий, которые можно получить с его помощью. Эти преимущества включают в себя возможность работы при более высоком давлении, возможность осаждения конформных пленок на неровных поверхностях и производство высококачественных однородных покрытий. Кроме того, CVD может работать с такими материалами, как Al2O3, которые трудно обрабатывать обычными методами PVD.
Более высокое рабочее давление и снижение затрат на оборудование:
Процессы CVD работают при значительно более высоком давлении по сравнению с PVD, что устраняет необходимость в использовании высоковакуумных насосов. Снижение требований к вакуумной технологии может привести к снижению стоимости оборудования, особенно если система не нуждается в обширной инфраструктуре управления газом для работы с токсичными газами.Осаждение конформных пленок на нерегулярных поверхностях:
Благодаря более высокому давлению и ламинарному потоку CVD позволяет осаждать пленки, которые не обязательно должны находиться в зоне прямой видимости. Эта особенность позволяет CVD равномерно покрывать подложки с неровной поверхностью или плотно упакованные подложки. В отличие от PVD, которая часто приводит к неравномерному покрытию из-за своей направленной природы, CVD может равномерно покрыть все открытые части сложной 3D-структуры.
Производство высококачественных однородных покрытий:
CVD позволяет получать покрытия с превосходной конформностью. Оно может равномерно покрывать сложные 3D-структуры, что является значительным преимуществом по сравнению с PVD, использующим метод прямой видимости. Равномерное покрытие, получаемое с помощью CVD, не имеет направленных эффектов, что обеспечивает высококачественное и равномерное покрытие.Работа со специфическими материалами, такими как Al2O3:
CVD имеет преимущество при обработке таких материалов, как Al2O3, который обладает очень хорошей физической и химической стабильностью, твердостью, износостойкостью и низкой стоимостью. Эти свойства делают Al2O3 желательным материалом для покрытий, и его обработка с помощью CVD более целесообразна, чем с помощью обычного PVD, из-за ограничений производственного процесса PVD.
