Мишени для напыления изготавливаются с помощью различных производственных процессов, которые зависят от свойств материала и его предполагаемого применения. К распространенным методам относятся вакуумная плавка и литье, горячее прессование, холодное прессование и спекание, а также специальные процессы спекания под давлением. Эти процессы обеспечивают производство высококачественных, химически чистых и металлургически однородных мишеней, используемых в напылении для создания тонких пленок.
Производственные процессы:
-
Вакуумная плавка и литье: Этот процесс включает в себя плавление сырья в вакууме для предотвращения загрязнения и последующее литье в нужную форму. Этот метод особенно эффективен для материалов, требующих высокой чистоты.
-
Горячее прессование и холодное прессование со спеканием: Эти методы предполагают прессование порошкообразных материалов при высоких или комнатных температурах с последующим спеканием для скрепления частиц между собой. При горячем прессовании обычно достигается более высокая плотность и лучшие механические свойства.
-
Специальный процесс спекания под давлением: Это специализированный процесс для конкретных материалов, требующих уникальных условий для оптимального уплотнения и склеивания.
-
Вакуумное горячее прессование: Аналогичен горячему прессованию, но проводится в вакууме для повышения чистоты и предотвращения окисления.
Форма и размер:
Мишени для напыления могут быть изготовлены различных форм и размеров, обычно круглых или прямоугольных. Однако технические ограничения могут потребовать изготовления многосегментных мишеней, которые затем соединяются с помощью стыковых или косых швов.Обеспечение качества:
Каждая партия продукции подвергается тщательному анализу для обеспечения соответствия стандартам качества. К каждой партии прилагается сертификат анализа, гарантирующий свойства и чистоту материала.
Применение в тонкопленочном осаждении:
Мишени для напыления имеют решающее значение для напыления - метода, используемого для получения тонких пленок для таких областей применения, как полупроводники, солнечные батареи и оптические компоненты. Мишени, изготовленные из чистых металлов, сплавов или соединений, подвергаются бомбардировке газообразными ионами, в результате чего частицы выбрасываются и осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку.
Переработка:
