Резюме:
Основное различие между PVD (Physical Vapor Deposition) и напылением заключается в методах, используемых для нанесения материалов на подложку. PVD - это более широкая категория, включающая различные методы осаждения тонких пленок, в то время как напыление - это специфический метод PVD, который включает в себя выброс материала из мишени с помощью энергичной ионной бомбардировки.
-
Подробное объяснение:Физическое осаждение из паровой фазы (PVD):
-
PVD - это общий термин, который охватывает несколько методов, используемых для нанесения тонких пленок на подложку. Эти методы обычно включают в себя превращение твердого материала в пар, а затем осаждение этого пара на поверхность. Методы PVD выбираются в зависимости от желаемых свойств конечной пленки, таких как адгезия, плотность и однородность. К распространенным методам PVD относятся напыление, испарение и ионное осаждение.
-
Напыление:
-
Напыление - это особый метод PVD, при котором атомы выбрасываются из твердого материала мишени в результате бомбардировки энергичными частицами (обычно ионами). Процесс происходит в вакуумной камере, где мишень (материал для осаждения) бомбардируется ионами (обычно из газообразного аргона). Под воздействием этих ионов атомы из мишени выбрасываются и впоследствии осаждаются на подложку. Этот метод особенно эффективен для осаждения широкого спектра материалов, включая металлы, полупроводники и изоляторы, с высокой чистотой и хорошей адгезией.Сравнение с другими методами PVD:
-
В то время как напыление предполагает выброс материала с помощью ионной бомбардировки, другие методы PVD, такие как испарение, нагревают исходный материал до температуры его испарения. При испарении материал нагревается до превращения в пар, который затем конденсируется на подложке. Этот метод проще и дешевле, чем напыление, но может не подойти для осаждения материалов с высокой температурой плавления или сложным составом.
Области применения и преимущества:
