Напыление в РЭМ подразумевает нанесение сверхтонкого слоя электропроводящего металла на непроводящие или плохо проводящие образцы. Этот процесс имеет решающее значение для предотвращения заряда образца и повышения соотношения сигнал/шум при визуализации в РЭМ. Покрытие толщиной обычно 2-20 нм наносится с помощью техники, которая включает в себя генерацию металлической плазмы и ее осаждение на образец.
Подробное объяснение:
-
Цель нанесения покрытия методом напыления:
-
Напыление используется в основном для решения проблемы зарядки образцов в РЭМ. Непроводящие материалы могут накапливать статические электрические поля под воздействием электронного пучка, что искажает изображение и может повредить образец. При нанесении проводящего слоя, например золота, платины или их сплавов, заряд рассеивается, обеспечивая четкое и неискаженное изображение.Техника и процесс:
-
Процесс нанесения покрытия методом напыления включает в себя создание металлической плазмы с помощью тлеющего разряда, когда ионная бомбардировка катода разрушает материал. Затем распыленные атомы оседают на образце, образуя тонкую проводящую пленку. Этот процесс тщательно контролируется для обеспечения равномерного и последовательного нанесения покрытия, часто с использованием автоматизированного оборудования для поддержания высокой точности и качества.
-
Преимущества для получения изображений SEM:
-
Помимо предотвращения заряда, покрытие напылением также усиливает эмиссию вторичных электронов с поверхности образца. Увеличение выхода вторичных электронов улучшает соотношение сигнал/шум, что приводит к получению более четких и детальных изображений. Кроме того, проводящее покрытие помогает уменьшить тепловое повреждение образца, отводя тепло, создаваемое электронным пучком.Типы используемых металлов:
Распространенные металлы, используемые для нанесения покрытий методом напыления, включают золото (Au), золото/палладий (Au/Pd), платину (Pt), серебро (Ag), хром (Cr) и иридий (Ir). Выбор металла зависит от таких факторов, как свойства образца и специфические требования к СЭМ-анализу.Толщина покрытия:
