Под однородностью пленки понимается постоянство свойств пленки на подложке, в первую очередь толщины пленки, но также применимо и к другим свойствам, таким как показатель преломления. Достижение хорошей однородности имеет решающее значение для качества и функциональности пленки в различных областях применения.
Равномерность толщины пленки:
Равномерность толщины пленки - важнейший аспект качества пленки. Она измеряет, насколько равномерно пленка осаждается на поверхности подложки. В контексте напыления этот процесс включает в себя использование падающих ионов, полученных с помощью газоразрядных методов. На равномерность влияет рабочее давление в вакуумной камере, которое обычно составляет от 10^-2 Па до 10 Па. Во время напыления ионы часто сталкиваются с молекулами газа, что приводит к случайному отклонению их направления. Эта случайность в сочетании с большей площадью поверхности мишени, на которую производится напыление, обычно приводит к более равномерному осаждению по сравнению с другими вакуумными методами нанесения покрытий. Это особенно важно для деталей со сложной геометрией, таких как крючковые канавки или ступеньки, где равномерность может минимизировать различия в толщине пленки, вызванные катодным эффектом.Другие свойства пленки Равномерность:
Помимо толщины, однородность также может относиться к постоянству других свойств пленки, таких как показатель преломления. Коэффициент преломления - это оптическое свойство, которое можно измерить с помощью таких методов, как эллипсометрия. Он дает представление о плотности, диэлектрической проницаемости и стехиометрии пленки. Например, для пленок нитрида кремния идеальным считается показатель преломления 2,0. Отклонения от этого значения могут указывать на наличие примесей или изменения в составе пленки, что может повлиять на ее производительность и надежность.
Влияние методов осаждения:
