Знание Что такое катодное напыление? 5 ключевых моментов для понимания процесса
Аватар автора

Техническая команда · Kintek Solution

Обновлено 1 месяц назад

Что такое катодное напыление? 5 ключевых моментов для понимания процесса

Катодное напыление - это процесс, используемый для осаждения тонких пленок.

В этом процессе твердая мишень подвергается бомбардировке высокоэнергетическими ионами.

Это достигается путем создания тлеющего разряда между двумя электродами в разреженной атмосфере в условиях вакуума.

Два электрода - это мишень (катод) и подложка (анод).

Для создания разряда между электродами прикладывается поле постоянного тока.

При введении инертного газа, обычно аргона, образуется плазма за счет ионизации газа.

Положительно заряженные ионы аргона затем ускоряются по направлению к отрицательно заряженной мишени (катоду), что приводит к распылению материала катода.

Напыленный материал в виде атомов или молекул осаждается на подложку, образуя тонкую пленку или покрытие.

Толщина осажденного материала обычно составляет от 0,00005 до 0,01 мм.

В качестве материала для осаждения обычно используются хром, титан, алюминий, медь, молибден, вольфрам, золото и серебро.

Напыление - это процесс травления, который изменяет физические свойства поверхности.

Он может использоваться для различных целей, в том числе для покрытия подложек для повышения электропроводности, уменьшения термического повреждения, усиления вторичной электронной эмиссии и получения тонких пленок для сканирующей электронной микроскопии.

Техника напыления предполагает введение контролируемого газа, обычно аргона, в вакуумную камеру.

На катод, или мишень, подается электрический ток для создания самоподдерживающейся плазмы.

Атомы газа в плазме превращаются в положительно заряженные ионы, теряя электроны, и затем ускоряются по направлению к мишени.

В результате удара атомы или молекулы материала мишени смещаются, образуя поток пара.

Этот напыленный материал проходит через камеру и оседает на подложке в виде пленки или покрытия.

В системе напыления катод является мишенью газового разряда, а подложка выступает в качестве анода.

Энергичные ионы, обычно ионы аргона, бомбардируют мишень, вызывая выброс атомов мишени.

Затем эти атомы попадают на подложку, образуя покрытие.

Напыление постоянного тока - это особый тип катодного напыления, в котором используется газообразный разряд постоянного тока.

Мишень служит источником осаждения, подложка и стенки вакуумной камеры могут выступать в качестве анода, а источником питания является высоковольтный источник постоянного тока.

Продолжайте поиск, обратитесь к нашим специалистам

Что такое катодное напыление? 5 ключевых моментов для понимания процесса

Ищете высококачественное оборудование для катодного напыления для своей лаборатории или исследовательского центра?Обратите внимание на компанию KINTEK! Наше современное оборудование разработано для обеспечения точных и эффективных процессов напыления, позволяя вам с легкостью осаждать тонкие пленки. Если вам нужно напыление для электронной микроскопии или других применений, наше оборудование удовлетворит ваши потребности.Не идите на компромисс с качеством - выбирайте KINTEK для всех ваших потребностей в катодном напылении. Свяжитесь с нами сегодня, чтобы получить дополнительную информацию и индивидуальное предложение!

Связанные товары

Мишень для распыления карбида бора (BC) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления карбида бора (BC) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите высококачественные материалы из карбида бора по разумным ценам для нужд вашей лаборатории. Мы изготавливаем материалы BC различной чистоты, формы и размера, включая мишени для распыления, покрытия, порошки и многое другое.

Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля

Электронно-лучевое напыление покрытия бескислородного медного тигля

При использовании методов электронно-лучевого испарения использование тиглей из бескислородной меди сводит к минимуму риск загрязнения кислородом в процессе испарения.

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.

Мишень для распыления кобальта (Co) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления кобальта (Co) высокой чистоты / порошок / проволока / блок / гранула

Получите доступные по цене материалы на основе кобальта (Co) для лабораторного использования, адаптированные к вашим уникальным потребностям. Наш ассортимент включает мишени для распыления, порошки, фольгу и многое другое. Свяжитесь с нами сегодня для индивидуальных решений!

Мишень для распыления хрома высокой чистоты (Cr) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления хрома высокой чистоты (Cr) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите доступные материалы Chromium для нужд вашей лаборатории. Мы производим нестандартные формы и размеры, включая мишени для распыления, фольгу, порошки и многое другое. Свяжитесь с нами сегодня.

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.

Электронно-лучевой тигель

Электронно-лучевой тигель

В контексте испарения с помощью электронного луча тигель представляет собой контейнер или держатель источника, используемый для хранения и испарения материала, который должен быть нанесен на подложку.

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Графитовый тигель для электронно-лучевого испарения

Технология, в основном используемая в области силовой электроники. Это графитовая пленка, изготовленная из исходного углеродного материала путем осаждения материала с использованием электронно-лучевой технологии.

Печь для искрового плазменного спекания SPS-печь

Печь для искрового плазменного спекания SPS-печь

Откройте для себя преимущества печей искрового плазменного спекания для быстрой низкотемпературной подготовки материалов. Равномерный нагрев, низкая стоимость и экологичность.

Мишень для распыления олова высокой чистоты (Sn) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления олова высокой чистоты (Sn) / порошок / проволока / блок / гранула

Ищете высококачественные материалы на основе олова (Sn) для лабораторного использования? Наши специалисты предлагают индивидуальные оловянные (Sn) материалы по разумным ценам. Ознакомьтесь с нашим ассортиментом спецификаций и размеров уже сегодня!

Мишень для распыления из медно-циркониевого сплава (CuZr) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления из медно-циркониевого сплава (CuZr) / порошок / проволока / блок / гранула

Откройте для себя наш ассортимент материалов из медно-циркониевого сплава по доступным ценам с учетом ваших уникальных требований. Просмотрите наш выбор мишеней для распыления, покрытий, порошков и многого другого.

Мишень для распыления карбида титана (TiC) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления карбида титана (TiC) / порошок / проволока / блок / гранула

Получите высококачественные материалы из карбида титана (TiC) для своей лаборатории по доступным ценам. Мы предлагаем широкий спектр форм и размеров, включая мишени для распыления, порошки и многое другое. С учетом ваших конкретных потребностей.


Оставьте ваше сообщение