Покрытие DLC (Diamond Like Carbon) - это тип покрытия, обладающий высокой прочностью и твердостью. Благодаря высокой твердости и химической стойкости оно часто используется в качестве защитного покрытия для различных материалов. Пленки DLC осаждаются методом радиочастотного плазмохимического осаждения из паровой фазы (RF PECVD), который позволяет осаждать углеродные пленки с широким диапазоном оптических и электрических свойств.
DLC-покрытие характеризуется высокой твердостью - от 1500 до 3000 HV. По своим свойствам оно аналогично природному алмазу, а по твердости близко к нему. Такая высокая твердость делает его пригодным для применения в автомобильной и машиностроительной промышленности, например, в силовых передачах, подшипниках, кулачковых валах и других элементах.
DLC-покрытие может быть нанесено даже при относительно низких температурах (около 300 °C) с высокой адгезионной прочностью при использовании соответствующих связующих слоев. Это делает его совместимым с различными подложками, такими как сталь и твердые металлические подложки. Кроме того, DLC-покрытие имеет низкий коэффициент трения (COF), достигающий 0,1 по отношению к подшипниковым сталям, что делает его пригодным для применения в тех случаях, когда требуется снижение трения.
Плазменно-ассистированное химическое осаждение из паровой фазы (PACVD) - это процесс, широко используемый для нанесения DLC-покрытий. Этот процесс активирует химические реакции за счет возбуждения и ионизации плазмы, что позволяет осаждать покрытия при низких температурах (около 200 °C) с использованием импульсно-свечения или высокочастотных разрядов. PACVD позволяет получать слои DLC с низким коэффициентом трения и масштабируемой поверхностной твердостью.
Таким образом, DLC-покрытие - это высокопрочное и твердое покрытие, которое используется в различных отраслях промышленности. Оно осаждается методом RF PECVD или PACVD, что позволяет проводить осаждение при низких температурах. DLC-покрытие обладает высокой твердостью, низким коэффициентом трения и хорошей адгезией к различным подложкам.
