Принадлежности и расходные материалы для испытательного оборудования
Переходная кварцевая трубка из плавленого кварца высокой чистоты для лабораторных трубчатых печей и процессов полупроводникового производства
Артикул : KT-SYG
Цена может варьироваться в зависимости от спецификации и настройки
- Состав материала
- Высокочистый плавленый кварц (SiO2 ≥ 99,99%)
- Рабочая температура
- 1100°C непрерывно / 1250°C кратковременно (пиковая)
- Термостойкость
- Закалка водой от 1100°C до 20°C без разрушения
Доставка:
Свяжитесь с нами чтобы получить подробности о доставке. Наслаждайтесь Гарантия своевременной отправки.
Почему выбирают нас
Простой процесс заказа, качественные продукты и специализированная поддержка для успеха вашего бизнеса.
Обзор продукта
Переходная трубка из плавленого кварца высокой чистоты представляет собой прецизионный соединительный элемент, разработанный для соединения труб различного диаметра в высокотемпературных печах, вакуумных сетях и технологических трубопроводах. Изготовленный из очищенного плавленого кремнезема с содержанием диоксида кремния более 99,99%, этот компонент обладает выдающейся термостойкостью, оптической прозрачностью и химической инертностью, обеспечивая надежный объемный поток без застойных зон или структурных разрушений.
Этот адаптер широко применяется в производстве полупроводников, химическом осаждении из паровой фазы (CVD), исследованиях фотоэлементов и аналитических пирохимических лабораториях. Он соединяет первичные камерные печи с коллекторами подачи газа, выхлопными скрубберами и вакуумными фитингами. Он устраняет несоответствия геометрических стыков в жестких термических системах, где эластомерные или металлические муфты непригодны из-за риска термического разложения или загрязнения.
Компонент, рассчитанный на непрерывную работу при температуре 1100°C и кратковременные пиковые нагрузки до 1250°C, имеет исключительно низкий коэффициент теплового расширения, что обеспечивает полную устойчивость к резким перепадам температур (термошоку) во время интенсивных циклов работы печи. Равномерная толщина стенки, точная концентричность и полный отжиг в печи гарантируют долгосрочную механическую прочность в условиях жесткого вакуума и избыточного давления.
Основные характеристики
- Сверхвысокая чистота материала: Изготовлен исключительно из высококачественного плавленого кремнезема с чистотой SiO2 более 99,99% и общим содержанием металлических примесей менее 20 ppm, что исключает риск загрязнения подложки в сверхчистых процессах производства полупроводников, солнечных элементов и осаждения тонких пленок.
- Превосходная термостойкость к шоковым нагрузкам: Обладает сверхнизким коэффициентом теплового расширения 5,5 × 10⁻⁷ /°C в диапазоне от комнатной температуры до 1000°C, что позволяет осуществлять прямую выдержку при резких температурных градиентах и мгновенную закалку водой с 1100°C без образования микротрещин, сетки трещин или катастрофического термического разрушения.
- Прецизионная геометрия, сформированная на токарном станке: Изготовлен с использованием синхронизированных с компьютером кварцевых стеклодувных токарных станков для поддержания жесткой концентричности, плавных конических переходов и равномерной толщины стенок как в секциях с большим, так и с малым внутренним диаметром, что предотвращает локальные термические напряжения и турбулентную рециркуляцию газа.
- Широкий спектр химической инертности: Проявляет практически полную устойчивость к коррозионным кислотам, включая концентрированные азотную, серную и соляную кислоты при температурах кипения, а также к сухим галогенам и парам летучих прекурсоров, защищая целостность технологической химии в сложных химических средах.
- Высокотемпературная структурная жесткость: Сохраняет исключительную механическую стабильность при непрерывных условиях эксплуатации при 1100°C и кратковременных пиковых скачках до 1250°C, устойчив к провисанию, размягчению или вакуумному схлопыванию в режимах глубокого отрицательного давления.
- Оптическая прозрачность и видимость процесса: Обеспечивает высокую спектральную прозрачность в ультрафиолетовом, видимом и ближнем инфракрасном диапазонах от 260 нм до 2500 нм, позволяя осуществлять четкий визуальный контроль плазменных разрядов, потоков прекурсоров и зон конденсации паров во время термической обработки.
- Настраиваемые концевые элементы и стыковочные интерфейсы: Спроектирован с универсальными конфигурациями соединений, включая прецизионные гладкие концы с оплавленными краями, стандартные шлифованные конические соединения, сферические шарнирные муфты или отбортованные профили для быстрого монтажа, что обеспечивает бесшовную интеграцию в различные компоновки аппаратуры.
- Контролируемый отжиг в печи: Проходит многостадийный запрограммированный циклический отжиг для устранения остаточных внутренних напряжений, возникающих при механической вытяжке и горячем сужении, что проверяется с помощью оптических испытаний на полярископе для обеспечения надежной физической долговечности во время эксплуатации.
Применение
| Применение | Описание | Главное преимущество |
|---|---|---|
| Полупроводниковая диффузия и окисление | Соединяет технологические трубы большого диаметра с инжекторами подачи реактивных газов меньшего размера или вакуумными фланцами форвакуумной линии в высокотемпературных диффузионных печах. | Предотвращает металлическое загрязнение, поддерживает атмосферные уплотнения сверхвысокой чистоты и выдерживает непрерывные технологические циклы при температуре 1100°C без расстекловывания. |
| Химическое осаждение из паровой фазы (CVD / PECVD) | Служит основным регулятором расхода газа, соединяющим каналы подачи реагентов с основной камерой вакуумного осаждения в горизонтальных или вертикальных трубчатых системах. | Устраняет турбулентные зоны рециркуляции за счет геометрии с плавным сужением, обеспечивая ламинарный поток прекурсора и равномерный рост тонких пленок. |
| Высоковакуумный выхлоп и переходы форвакуумной линии | Соединяет технологические камеры увеличенного размера со стандартными линиями вакуумной откачки, ловушками для холода и диагностическими датчиками давления в высоковакуумных установках. | Обеспечивает пренебрежимо малую скорость газовыделения в условиях сверхвысокого вакуума при сохранении глубоких вакуумных перепадов без конструктивного коробления. |
| Скруббирование коррозионных газов и вентиляционные линии | Стыкует потоки коррозионных выбросов, содержащих хлор, соединения фтора или кислые побочные продукты, с конденсационными ловушками и башнями-нейтрализаторами. | Невосприимчив к туману кислот и галогенам при повышенных температурах выхлопных газов, предотвращая преждевременную коррозию соединений и аварийные утечки выхлопных газов. |
| Сужение канала лабораторной трубчатой печи | Облегчает размерное преобразование между большими нагревательными трубками печи и стандартной лабораторной стеклянной посудой или портами для ввода аналитических зондов. | Позволяет исследователям адаптировать диаметры трубок старых печей к модульной аппаратуре без индивидуальной механической обработки дорогих торцевых крышек печи. |
| Обработка кремниевых пластин для фотоэлектрических систем | Служит переходным воздуховодом для подачи паров легирующей примеси оксихлорида фосфора или трибромида бора в реакторах диффузии эмиттера солнечных элементов. | Устойчив к агрессивной коррозии паров носителя легирующей примеси, сохраняя при этом предельную химическую чистоту, критически важную для высокой эффективности времени жизни неосновных носителей заряда. |
| Пирохимический и термический анализ | Соединяет высокотемпературные лодочки для сжигания или реакционные трубки напрямую с масс-спектрометрами, оптическими газоанализаторами и змеевиками конденсаторов. | Обеспечивает инертные пути потока, предотвращающие адсорбцию образцов, каталитические побочные реакции или искажение сигнала во время чувствительных аналитических оценок. |
| Осаждение заготовок оптического волокна (MCVD) | Соединяет вращающиеся кварцевые стартовые трубки с коллекторами подачи химикатов и вытяжными вентиляторами в процессе модифицированного химического осаждения из паровой фазы для сердечников волокна. | Обеспечивает высокую концентричность вращения и механическую прочность при прохождении интенсивного кислородно-водородного пламени вдоль оси заготовки. |
Технические характеристики
Стандартные варианты размеров
| Модель продукта | Внешний диаметр больший (OD1) | Внешний диаметр меньший (OD2) | Толщина стенки (W) | Длина сужения (L1) | Общая длина (L) | Геометрия перехода |
|---|---|---|---|---|---|---|
| KT-SYG-2515 | 25 мм (±0.3 мм) | 15 мм (±0.3 мм) | 2.0 мм (±0.2 мм) | 30 мм | 150 мм | Концентрический |
| KT-SYG-3825 | 38 мм (±0.5 мм) | 25 мм (±0.3 мм) | 2.5 мм (±0.3 мм) | 40 мм | 180 мм | Концентрический |
| KT-SYG-5025 | 50 мм (±0.5 мм) | 25 мм (±0.3 мм) | 3.0 мм (±0.3 мм) | 50 мм | 200 мм | Концентрический |
| KT-SYG-6040 | 60 мм (±0.5 мм) | 40 мм (±0.5 мм) | 3.0 мм (±0.3 мм) | 50 мм | 220 мм | Концентрический |
| KT-SYG-8050 | 80 мм (±0.8 мм) | 50 мм (±0.5 мм) | 3.5 мм (±0.3 мм) | 60 мм | 250 мм | Концентрический |
| KT-SYG-10060 | 100 мм (±0.8 мм) | 60 мм (±0.5 мм) | 4.0 мм (±0.4 мм) | 80 мм | 300 мм | Концентрический |
| KT-SYG-12080 | 120 мм (±1.0 мм) | 80 мм (±0.8 мм) | 4.5 мм (±0.4 мм) | 90 мм | 320 мм | Концентрический |
| KT-SYG-150100 | 150 мм (±1.2 мм) | 100 мм (±0.8 мм) | 5.0 мм (±0.5 мм) | 100 мм | 350 мм | Концентрический |
| KT-SYG-5025E | 50 мм (±0.5 мм) | 25 мм (±0.3 мм) | 3.0 мм (±0.3 мм) | 55 мм | 200 мм | Эксцентрический с плоским дном |
| KT-SYG-8050E | 80 мм (±0.8 мм) | 50 мм (±0.5 мм) | 3.5 мм (±0.3 мм) | 65 мм | 250 мм | Эксцентрический с плоским дном |
| KT-SYG-10060E | 100 мм (±0.8 мм) | 60 мм (±0.5 мм) | 4.0 мм (±0.4 мм) | 85 мм | 300 мм | Эксцентрический с плоским дном |
| KT-SYG-CUSTOM | 10 мм – 450 мм | 5 мм – 350 мм | 1.5 мм – 10.0 мм | По индивидуальному заказу | 50 мм – 1200 мм | Концентрический / Эксцентрический |
Физические и термические свойства материала
| Параметр | Стандарт испытаний / Единица измерения | Значение / Характеристика |
|---|---|---|
| Химический состав | Спектроскопия | Плавленый кварц высокой чистоты (SiO2 ≥ 99,99%) |
| Плотность материала | Метод Архимеда / г/см³ | 2.20 г/см³ |
| Температура непрерывной эксплуатации | Эксплуатационный термический предел | 1100°C |
| Максимальный кратковременный предел эксплуатации | Порог пикового отклонения | 1250°C |
| Точка размягчения | ASTM C338 | 1730°C |
| Точка отжига | ASTM C336 | 1180°C |
| Точка деформации | ASTM C336 | 1120°C |
| Коэффициент теплового расширения (КТР) | Дилатометрия (20°C – 1000°C) | 5.5 × 10⁻⁷ /°C |
| Термостойкость | Тест на закалку в воде | От 1100°C до 20°C без разрушения |
| Теплопроводность | 20°C / Вт/(м·К) | 1.4 Вт/(м·К) |
| Предел прочности на разрыв | Механические испытания / МПа | 48 МПа |
| Прочность на сжатие | Механические испытания / МПа | 1100 МПа |
| Модуль Юнга (Модуль упругости) | Акустический резонанс / ГПа | 72 ГПа |
| Коэффициент Пуассона | Механический / Безразмерный | 0.17 |
| Диэлектрическая проницаемость | 1 МГц при 25°C | 3.75 |
| Показатель преломления (nD) | Оптическая D-линия натрия (589.3 нм) | 1.4585 |
| Оптический коэффициент пропускания | Спектрометрия 260 нм – 2500 нм | > 90% |
Типичный профиль следовых химических примесей
| Элемент | Символ | Концентрация (ppm по массе) |
|---|---|---|
| Алюминий | Al | 12.0 – 16.0 |
| Железо | Fe | 0.2 – 0.6 |
| Кальций | Ca | 0.4 – 0.9 |
| Магний | Mg | 0.1 – 0.4 |
| Натрий | Na | 0.5 – 1.2 |
| Калий | K | 0.4 – 0.8 |
| Литий | Li | 0.2 – 0.5 |
| Медь | Cu | < 0.05 |
| Всего металлических примесей | Общее содержание металлов | < 20.0 ppm |
Варианты концевых элементов и фитингов
| Стиль концевого элемента | Доступные стандарты | Типичное соединение в применении |
|---|---|---|
| Гладкие концы с оплавленными краями | Стандартная ровная резка и оплавление пламенем | Фитинги Ultra-Torr, компрессионные уплотнительные кольца, торцевые фланцы печи |
| Шлифованные стеклянные конические соединения | Стандартный конус ST 14/23, 19/26, 24/29, 29/32, 45/40 | Прямые взаимозаменяемые соединения стеклянной посуды без полимерных адаптеров |
| Сферические шаровые и гнездовые соединения | Полушаровые соединения S13, S19, S28, S35, S50 | Линии с угловой регулировкой, компенсаторы теплового расширения без напряжения |
| Концы с отбортовкой для быстрого монтажа | Кварцевые отбортованные концы под кольцевые зажимы | Муфты с вакуумными трубными хомутами, коллекторы форвакуумной линии высокой чистоты |
| Фланцы из плавленого кварца | Полированные плоские торцы с отверстиями под болты или прорезными краями | Прямое болтовое соединение с металлическими вакуумными узлами или смотровыми окнами реактора |
Почему выбирают этот продукт
- Технология горячего формования на прецизионном токарном станке: Усовершенствованные автоматизированные стеклодувные токарные станки контролируют уменьшение толщины стенки в зоне конического перехода, устраняя структурные тонкие места и неравномерные термические напряжения, характерные для переходников ручной вытяжки.
- Бескомпромиссная химическая чистота и чистота матрицы: Изготовлен строго из рафинированного кварца электроплавления, содержащего менее 20 ppm суммарных металлических примесей, что защищает чувствительные партии пластинок, каталитические слои и осаждение тонких пленок методом CVD от перекрестного загрязнения элементами.
- Подтвержденный безнапряженный отжиг: Каждое изделие проходит автоматизированный отжиг в печи с поэтапным изменением температуры с последующим комплексным полярископическим контролем напряжений, что гарантирует отсутствие остаточного механического натяжения и полную устойчивость к термошоку.
- Инженерия концентрических и эксцентрических компоновок: Предлагается как в стандартных концентрических формах для симметричной динамики потока, так и в эксцентрических конфигурациях с плоским дном, которые предотвращают скопление жидкого конденсата в горизонтальных выхлопных линиях и линиях рекуперации.
- Комплексная настройка размеров: Мы проектируем индивидуальные соотношения диаметров, уникальные углы переходов, увеличенную длину ножек и специализированные соединительные фланцы, точно соответствующие проприетарному технологическому оборудованию и старым трубчатым печам.
Свяжитесь с нашей командой технических инженеров сегодня, чтобы обсудить ваши требования к размерам, подобрать индивидуальные решения по стеклодувному делу или запросить коммерческое предложение для немедленной доставки.
Нам доверяют лидеры отрасли
ЗАПРОС ЦИТАТЫ
Наша профессиональная команда ответит вам в течение одного рабочего дня. Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам!
Связанные товары
Лабораторная печь с кварцевой трубой для быстрой термической обработки (RTP)
Получите молниеносный нагрев с нашей трубчатой печью для быстрой термической обработки RTP. Разработана для точного, высокоскоростного нагрева и охлаждения с удобной раздвижной направляющей и сенсорным экраном TFT. Закажите сейчас для идеальной термической обработки!
Раздельная трубчатая печь 1200℃ с кварцевой трубой, лабораторная трубчатая печь
Раздельная трубчатая печь KT-TF12: высокочистая изоляция, встроенные спирали нагревательного провода и макс. 1200C. Широко используется для новых материалов и осаждения из газовой фазы.
Подложка из кварцевого стекла для оптических окон, пластина из кварца JGS1 JGS2 JGS3
Кварцевая пластина — это прозрачный, прочный и универсальный компонент, широко используемый в различных отраслях промышленности. Изготовленная из высокочистого кварцевого кристалла, она обладает отличной термостойкостью и химической стойкостью.
Термостойкий оптический кварцевый стеклолист
Откройте для себя возможности оптических стеклолистов для точного управления светом в телекоммуникациях, астрономии и других областях. Откройте новые горизонты в оптических технологиях благодаря исключительной прозрачности и настраиваемым показателям преломления.
Алюминиевая трубка для печи (Al2O3) для передовых тонких керамических материалов
Высокотемпературная алюминиевая трубка для печи сочетает в себе преимущества высокой твердости оксида алюминия, хорошей химической инертности и стали, а также обладает отличной износостойкостью, стойкостью к термическому удару и механическому удару.
Керамическая трубка из нитрида бора (BN)
Нитрид бора (BN) известен своей высокой термической стабильностью, отличными электроизоляционными и смазывающими свойствами.
Защитная трубка из высокотемпературного оксида алюминия (Al2O3) для инженерной тонкой керамики
Защитная трубка из оксида алюминия, также известная как корундовая трубка, устойчивая к высоким температурам, или защитная трубка термопары, представляет собой керамическую трубку, в основном изготовленную из оксида алюминия.
Машина для трубчатой печи CVD с несколькими зонами нагрева, оборудование для системы камеры химического осаждения из паровой фазы
Многозонная печь CVD KT-CTF14 - точный контроль температуры и потока газа для передовых применений. Максимальная температура до 1200℃, 4-канальный расходомер MFC и сенсорный контроллер TFT 7 дюймов.
Магнитный сепаратор Дэвиса (аналитическая трубка Дэвиса) для разделения минералов
Разработанный для точного анализа ферромагнитных руд, этот интегрированный магнитный сепаратор с трубкой Дэвиса обеспечивает непрерывное управление магнитным полем до 3000 мТл, автоматизированный механизм покачивания и заводскую откалиброванную надежность, обеспечивая точное количественное разделение минералов для металлургических и угольных лабораторий.
Термопарная защитная трубка из гексагонального нитрида бора HBN
Керамика из гексагонального нитрида бора — это новый промышленный материал. Благодаря своей схожей структуре с графитом и многим сходствам в работе его также называют «белым графитом».
Кварцевый квадратный лодочный тигель высокой чистоты, прозрачный, устойчивый к высокой температуре и коррозии, стеклянный резервуар
Разработанный для требовательных лабораторных условий, этот прозрачный кварцевый квадратный лодочный тигель высокой чистоты обладает исключительной устойчивостью к коррозии и термической стабильностью до 1200 градусов Цельсия, что обеспечивает обработку материалов без загрязнения и сверхнадежную работу в сложных установках трубчатых печей по всему миру.
Вертикальная лабораторная трубчатая печь
Улучшите свои эксперименты с помощью нашей вертикальной трубчатой печи. Универсальная конструкция позволяет работать в различных средах и применять различные методы термообработки. Закажите сейчас для получения точных результатов!
Кварцевая электрохимическая ячейка для электрохимических экспериментов
Ищете надежную кварцевую электрохимическую ячейку? Наш продукт отличается превосходной коррозионной стойкостью и полными характеристиками. Благодаря высококачественным материалам и хорошей герметизации он безопасен и долговечен. Возможна индивидуальная настройка в соответствии с вашими потребностями.
Разъемная многозонная вращающаяся трубчатая печь
Многозонная вращающаяся печь для высокоточного температурного контроля с 2-8 независимыми зонами нагрева. Идеально подходит для электродных материалов литий-ионных аккумуляторов и высокотемпературных реакций. Может работать под вакуумом и в контролируемой атмосфере.
Вакуумная ротационная трубчатая печь непрерывного действия
Оцените эффективность обработки материалов с нашей вакуумной ротационной трубчатой печью. Идеально подходит для экспериментов или промышленного производства, оснащена дополнительными функциями для контролируемой подачи и оптимизации результатов. Закажите сейчас.
Лабораторная вакуумная наклонная вращающаяся трубчатая печь
Откройте для себя универсальность лабораторной вращающейся печи: идеально подходит для прокаливания, сушки, спекания и высокотемпературных реакций. Регулируемые функции вращения и наклона для оптимального нагрева. Подходит для работы в вакууме и контролируемой атмосфере. Узнайте больше прямо сейчас!
Механический грохот для предварительного рассева металлургического кокса перед испытанием в барабане и анализа коксовой мелочи
Оптимизируйте контроль качества металлургического кокса с помощью этого механического грохота, предназначенного для точной классификации фракций и выделения коксовой мелочи. Четырехуровневая система разделения исключает ручной труд, снижает ошибки при отборе проб и обеспечивает строгое ежедневное соблюдение стандартов.