Для достижения высокого вакуума обычно используется комбинация насосов, причем турбомолекулярный насос или масляный диффузионный насос являются основным выбором для высоких уровней вакуума. Эти насосы предназначены для достижения очень низких давлений и часто используются последовательно с предварительным насосом, таким как пластинчато-роторный насос или насос с сухой спиралью.
Турбомолекулярные насосы:
Турбомолекулярные насосы предназначены для работы при очень высоких уровнях вакуума, обычно ниже 10^-7 мбар. Они работают за счет использования вращающихся лопастей, придающих молекулам газа импульс в направлении, противоположном направлению потока газа, эффективно откачивая газ из системы. Эти насосы высокоэффективны при удалении газов и широко используются в системах, требующих сверхвысокого вакуума, например, в производстве полупроводников, научных исследованиях и камерах для моделирования космического пространства.Масляные диффузионные насосы:
Масляные диффузионные насосы - еще один тип насосов, используемых в системах высокого вакуума. Они работают, направляя высокоскоростную струю паров масла на стенки камеры, которая затем конденсируется и возвращается в котел. Молекулы газа в камере движутся под действием струи паров масла к выходу, где они собираются и удаляются. Эти насосы могут достигать уровня вакуума до 10^-7 мбар и часто используются в научных и промышленных приложениях, где требуется высокий вакуум.
Как турбомолекулярные, так и масляные диффузионные насосы требуют подпорного насоса (например, пластинчато-роторного) для поддержания достаточно низкого давления на входе для эффективной работы. Подпорный насос создает грубый вакуум, который затем дорабатывается высоковакуумным насосом для достижения требуемого сверхнизкого давления.
