Химическое осаждение из паровой фазы (CVD) - это универсальная технология, используемая для осаждения широкого спектра материалов, включая металлы, полупроводники, оксиды, нитриды, карбиды, алмаз и полимеры. Эти материалы служат для различных функциональных целей, таких как электронные, оптические, механические и экологические приложения. Процессы осаждения можно разделить на термический CVD, CVD при низком давлении, CVD с плазменным усилением и CVD в сверхвысоком вакууме, каждый из которых разработан для работы в определенных условиях, чтобы оптимизировать осаждение различных материалов.
Металлы и полупроводники:
CVD широко используется для осаждения таких металлов, как никель, вольфрам, хром и карбид титана, которые имеют решающее значение для повышения коррозионной и износостойкости. Полупроводники, как элементарные, так и составные, также широко осаждаются с помощью CVD-процессов, особенно при изготовлении электронных устройств. Разработка летучих металлоорганических соединений расширила спектр подходящих прекурсоров для этих процессов, особенно в MOCVD (Metal-Organic CVD), который играет ключевую роль в осаждении эпитаксиальных полупроводниковых пленок.Оксиды, нитриды и карбиды:
Эти материалы осаждаются с помощью CVD для различных применений благодаря своим уникальным свойствам. Например, оксиды, такие как Al2O3 и Cr2O3, используются для тепло- и электроизоляционных свойств, а нитриды и карбиды обеспечивают твердость и износостойкость. Процессы CVD позволяют точно контролировать процесс осаждения этих материалов, обеспечивая высокое качество пленок.
Алмаз и полимеры:
CVD также используется для осаждения алмазных пленок, которые ценятся за их исключительную твердость и теплопроводность. Полимеры, осажденные методом CVD, используются в таких областях, как имплантаты биомедицинских устройств, печатные платы и прочные смазочные покрытия. В зависимости от требований применения эти материалы могут быть получены в различных микроструктурах, включая монокристаллическую, поликристаллическую и аморфную.
Методы и условия осаждения:
