ВЧ-напыление - это метод, используемый для осаждения тонких пленок, в частности изоляционных материалов, путем воздействия радиочастотного излучения (РЧ) на материал мишени в вакуумной среде. Этот метод позволяет предотвратить накопление заряда на материале мишени, что может привести к возникновению дуги и другим проблемам контроля качества в процессе напыления.
Механизм радиочастотного напыления:
ВЧ-напыление работает за счет подачи мощности на радиочастотах, обычно 13,56 МГц, вместе с согласующей сетью. Переменный электрический потенциал радиочастот помогает "очистить" поверхность материала мишени от накопленных зарядов. Во время положительного цикла РЧ электроны притягиваются к мишени, придавая ей отрицательное смещение. В отрицательном цикле ионная бомбардировка мишени продолжается, облегчая процесс напыления.
- Преимущества радиочастотного напыления:Уменьшение накопления заряда:
- Использование радиочастотного излучения значительно снижает накопление зарядов на поверхности материала мишени, что очень важно для поддержания целостности процесса напыления.Минимизация "эрозии гоночного трека":
ВЧ-напыление также помогает уменьшить образование "эрозии гоночного трека" на поверхности материала мишени, что является распространенной проблемой при использовании других методов напыления.Технические детали:
При ВЧ-напылении вместо постоянного электрического поля применяется высокочастотное переменное поле. Это поле последовательно соединено с конденсатором и плазмой, причем конденсатор служит для разделения компонента постоянного тока и поддержания нейтральности плазмы. Переменное поле ускоряет ионы и электроны в обоих направлениях. На частотах выше примерно 50 кГц ионы больше не могут следовать за переменным полем из-за меньшего отношения заряда к массе, что приводит к увеличению плотности плазмы и снижению рабочего давления (примерно от 10^-1 до 10^-2 Па), которое может изменить микроструктуру осаждаемых тонких пленок.
Обзор процесса:
