Реактивное напыление - это специализированная технология в области физического осаждения из паровой фазы (PVD), которая предполагает осаждение тонких пленок с контролируемой стехиометрией и структурой. В отличие от стандартного напыления, при котором используется чистый материал мишени и инертный газ, например аргон, при реактивном напылении в камеру напыления вводится реактивный газ, такой как кислород или азот. Этот реактивный газ вступает в химическую реакцию с распыленными частицами мишени, что позволяет формировать на подложке пленки соединений, таких как оксиды и нитриды.
Резюме ответа:
Цель реактивного напыления - обеспечить осаждение составных тонких пленок с точным контролем их химического состава и физических свойств. Это достигается путем введения в процесс напыления реактивного газа, который вступает в реакцию с целевым материалом, образуя на подложке желаемое соединение.
-
Подробное объяснение:Введение реактивного газа:
-
При реактивном напылении ключевым отличием от стандартного напыления является введение реактивного газа (например, кислорода или азота) в камеру напыления. Этот газ взаимодействует с распыленными частицами материала-мишени, что приводит к образованию новых соединений, таких как оксиды или нитриды.
-
Химическая реакция и образование пленки:
-
Напыленные частицы вступают в химическую реакцию с реактивным газом, что имеет решающее значение для осаждения пленки желаемого соединения на подложку. Этот процесс важен для приложений, требующих специфических химических составов, например, при производстве полупроводниковых приборов или оптических покрытий.Контроль и оптимизация:
-
Состав осаждаемой пленки можно точно контролировать, регулируя относительное давление инертного и реактивного газов. Этот контроль крайне важен для оптимизации функциональных свойств пленки, таких как напряжение в нитриде кремния (SiNx) или показатель преломления в оксиде кремния (SiOx).
Задачи и модели:
