Физическое напыление - это процесс осаждения тонких пленок, при котором атомы выбрасываются из твердого материала мишени в результате бомбардировки энергичными ионами. Этот метод широко используется в различных отраслях промышленности, включая обработку полупроводников, прецизионную оптику и обработку поверхностей, благодаря превосходной однородности, плотности и адгезии напыленных тонких пленок.
Подробное объяснение:
-
Механизм напыления:
-
Напыление - это тип физического осаждения из паровой фазы (PVD), при котором материал мишени бомбардируется высокоэнергетическими частицами, обычно ионами инертного газа, например аргона. В результате бомбардировки атомы целевого материала выбрасываются и впоследствии осаждаются на подложку, образуя тонкую пленку. Процесс начинается с введения инертного газа, например аргона, в вакуумную камеру и подачи электрического напряжения на катод для создания плазмы. Материал мишени выступает в качестве катода, а подложка, на которую должна быть нанесена пленка, обычно прикрепляется к аноду.Типы напыления:
-
Существует несколько разновидностей напыления, включая катодное напыление, диодное напыление, радиочастотное или постоянное напыление, ионно-лучевое напыление и реактивное напыление. Несмотря на разные названия, суть процесса остается неизменной: выброс атомов из материала мишени в результате ионной бомбардировки.
-
Установка процесса:
-
В типичном случае материал мишени и подложка помещаются в вакуумную камеру. Между ними подается напряжение, в результате чего мишень становится катодом, а подложка - анодом. При приложении напряжения создается плазма, которая бомбардирует мишень ионами, вызывая напыление.Применение и преимущества:
-
Напыление предпочитают за его способность производить высококачественные тонкие пленки с точным контролем толщины и состава. Оно используется при производстве полупроводников, солнечных батарей, дисковых накопителей и оптических устройств. Процесс универсален и может использоваться для нанесения широкого спектра материалов, включая металлы, сплавы и соединения.
Выход напыления:
