Методы поиска утечек в вакуумной системе включают в себя, прежде всего, метод инжекции и метод всасывающего сопла, а также дополнительные методы для обнаружения утечек инертного газа и общего обслуживания.
Инжекционный метод обнаружения:
Этот традиционный метод предполагает удаление воздуха из печи и подачу газа гелия за пределы печи, обычно подключенного к гелиевому масс-спектрометру. Система следит за гелием, который может попасть в вакуумную систему, что указывает на утечку. Этот метод эффективен, поскольку гелий - маленькая молекула и может легко проникать через самые маленькие утечки, что делает его надежным газом-трассировщиком для обнаружения утечек в вакуумных системах.Метод обнаружения сопла:
Этот метод подходит для объектов, которые нельзя откачать, например теплообменников, водоохлаждаемых фланцев и электрических вводов. В объект, подлежащий обнаружению, заливается газ, указывающий на утечку, обычно гелий. Затем с помощью датчика или гелиевого масс-спектрометра проверяется наличие газа, выходящего наружу и указывающего на утечку. Этот метод особенно полезен для компонентов, которые не являются частью основной вакуумной камеры, но критически важны для общей целостности вакуума.
Обнаружение утечки инертного газа:
Для систем, использующих инертные газы, крайне важно обеспечить отсутствие утечек из системы подачи газа в вакуумную печь. Для обнаружения утечек инертного газа обычно используются два метода: метод пленки (мыльных пузырей) и вакуумный метод обнаружения утечек. Пленочный метод предполагает нанесение мыльного раствора на предполагаемые места утечки и наблюдение за появлением пузырьков, а вакуумный метод использует вакуумметр для отслеживания изменений давления, указывающих на наличие утечки.Техническое обслуживание и профилактические меры:
Регулярное техническое обслуживание и профилактические меры необходимы для минимизации утечек. К ним относятся использование гелиевых течеискателей или анализ остаточного газа для обнаружения мелких утечек, замена временных герметизирующих составов, а также регулярная проверка и замена таких компонентов, как уплотнения, клапаны и насосы. Надлежащее техническое обслуживание не только предотвращает непредвиденные простои оборудования, но и оптимизирует производительность и срок службы вакуумной печи, снижая общую стоимость эксплуатации с течением времени.
