ВЧ-напыление обладает рядом ключевых преимуществ, включая превосходное качество пленки и покрытие ступеней, универсальность при осаждении различных материалов, снижение эффектов заряда и дуги, работу при низком давлении и повышенную эффективность. Кроме того, оно эффективно для изолирующих мишеней и получило дальнейшее развитие благодаря разработке радиочастотного диодного напыления.
Превосходное качество пленки и ступенчатое покрытие:
ВЧ-напыление позволяет получать пленки с лучшим качеством и покрытием ступеней по сравнению с методами испарения. Это имеет решающее значение для приложений, требующих точного и равномерного осаждения пленки, поскольку обеспечивает хорошее прилегание пленки к подложке, даже при сложной геометрии.Универсальность в осаждении материалов:
Эта технология позволяет осаждать широкий спектр материалов, включая изоляторы, металлы, сплавы и композиты. Такая универсальность особенно полезна в отраслях, где для различных применений требуются разные материалы, что позволяет оптимизировать и сделать экономически эффективным производственный процесс.
Снижение эффектов заряда и дуги:
Использование радиочастотного источника переменного тока на частоте 13,56 МГц позволяет избежать эффекта заряда и уменьшить образование дуги. Это происходит потому, что знак электрического поля меняется на каждой поверхности внутри плазменной камеры под воздействием радиочастотного излучения, что предотвращает накопление зарядов, которые могут привести к образованию дуги. Возникновение дуги может привести к неравномерному осаждению пленки и другим проблемам с качеством, поэтому ее уменьшение имеет большое значение для поддержания высокого качества производства пленки.Работа при низком давлении:
ВЧ-напыление может работать при низком давлении (от 1 до 15 мТорр), поддерживая при этом плазму. Работа при низком давлении повышает эффективность процесса за счет уменьшения количества столкновений ионизированных газов, что приводит к более эффективному осаждению материала покрытия в прямой видимости.
Повышенная эффективность и контроль качества:
