Да, SiO2 можно напылять. Это достигается с помощью процесса, называемого реактивным напылением, при котором кремний (Si) используется в качестве материала-мишени в присутствии неинертного газа, в частности кислорода (O2). Взаимодействие между распыленными атомами кремния и газообразным кислородом в камере напыления приводит к образованию диоксида кремния (SiO2) в виде тонкой пленки.
Объяснение реактивного напыления:
Реактивное напыление - это метод осаждения тонких пленок, при котором в среду напыления вводится реактивный газ, например кислород. В случае формирования SiO2 кремниевая мишень помещается в камеру распыления, и в нее подается кислород. Когда кремний распыляется, вылетающие атомы реагируют с кислородом, образуя SiO2. Этот процесс имеет решающее значение для получения желаемого химического состава и свойств тонкой пленки.Настройка показателя преломления:
В ссылке также упоминается совместное напыление, которое подразумевает использование нескольких мишеней в камере напыления. Например, совместное напыление кремниевых и титановых мишеней в среде, богатой кислородом, позволяет создавать пленки с заданным коэффициентом преломления. Мощность, подаваемая на каждую мишень, может быть изменена для корректировки состава осаждаемой пленки, что позволяет регулировать показатель преломления между значениями, характерными для SiO2 (1,5) и TiO2 (2,4).
Преимущества напыления:
Напыление предпочтительнее других методов осаждения благодаря его способности создавать пленки с хорошей адгезией к подложкам и возможности работать с материалами с высокими температурами плавления. Процесс может осуществляться сверху вниз, что невозможно при осаждении испарением. Кроме того, системы напыления могут быть оснащены различными опциями, такими как очистка на месте или предварительный нагрев подложки, что повышает качество и функциональность осажденных пленок.
Изготовление кремниевых мишеней для напыления:
