Функция диффузионного насоса заключается в создании высокого вакуума за счет использования кинетической энергии испаряющейся жидкости для захвата и удаления молекул газа из камеры. В отличие от механических насосов, в которых для вытеснения воздуха используются движущиеся части, диффузионные насосы работают за счет испарения жидкости, обычно масла, которое затем захватывает молекулы воздуха и переносит их в более холодную зону, где они высвобождаются. Этот процесс опирается на импульс потока пара и эффект охлаждения для эффективного удаления воздуха из камеры.
Подробное объяснение:
-
Принцип работы:
-
Диффузионные насосы работают по принципу уноса жидкости, когда пар кипящей жидкости захватывает молекулы воздуха. В отличие от механических насосов, в которых для выталкивания воздуха из камеры используются физические механизмы, такие как поршни или лопасти. В диффузионных насосах жидкость (часто называемая маслом) нагревается до тех пор, пока не испарится. Затем высокоскоростной поток пара взаимодействует с молекулами газа в камере, эффективно перемещая их к выходу.Механизм удаления газа:
-
Испарившаяся жидкость с захваченными молекулами газа перемещается в более холодную часть насоса, где конденсируется. В результате конденсации высвобождаются захваченные молекулы газа, которые затем удаляются из системы. Сочетание силы тяжести и направленного потока паров помогает направить молекулы газа к нижней части насоса, что повышает эффективность процесса эвакуации.
-
Высокие вакуумные возможности:
-
Диффузионные насосы способны достигать очень низкого давления, в диапазоне от 10-2 до 10-10 торр. Такая высокая вакуумная производительность делает их пригодными для различных промышленных применений, таких как электронно-лучевая микроскопия, вакуумное напыление, нанесение покрытий и вакуумные печи. Отсутствие движущихся частей в диффузионных насосах способствует их долговечности и надежности.Эксплуатационные требования:
Хотя диффузионные насосы сами по себе не имеют движущихся частей, они требуют наличия резервного насоса для поддержания низкого давления в системе в периоды простоя. Когда диффузионный насос работает, подпорный насос изолирован, и его основная функция заключается в содействии поддержанию необходимых условий вакуума.
