Карбид кремния (SiC) - универсальный материал с широким спектром применения благодаря своим уникальным свойствам, таким как высокая твердость, низкая плотность, высокая теплопроводность и отличная химическая стойкость. Его применение охватывает различные отрасли промышленности, включая производство полупроводников, высокотемпературных нагревательных элементов, износостойких компонентов, а также оборонную и аэрокосмическую отрасли.
Производство полупроводников:
Карбид кремния широко используется в процессах производства полупроводников. Он служит критически важным компонентом в системах поддержки полупроводниковых пластин, таких как суспензоры, контактные кольца, подъемные штифты, электроды и фокусирующие кольца. Эти компоненты необходимы в различных процессах изготовления полупроводников, включая быструю термическую обработку (RTP), плазменное травление, химическое осаждение из паровой фазы (CVD), эпитаксию, ионную имплантацию, литографию и различные методы очистки. Использование SiC в этих областях обусловлено его высокой теплопроводностью и устойчивостью к агрессивным химическим средам, возникающим в процессе обработки полупроводников.Высокотемпературные применения:
SiC идеально подходит для высокотемпературных применений благодаря своей высокой теплопроводности и стабильности при экстремальных температурах. Он используется в нагревательных элементах для промышленных печей, где может выдерживать температуру до 1600°C без разрушения. Кроме того, стержни и керамика SiC используются в высокотемпературных печах и обжиговых аппаратах в таких отраслях, как керамика, производство стекла и металлургия. Способность материала сохранять структурную целостность и электрические свойства при высоких температурах делает его незаменимым в этих областях.
Износостойкость и коррозионная стойкость:
Чрезвычайная твердость и износостойкость карбида кремния делают его пригодным для компонентов, требующих долговечности в жестких условиях эксплуатации. Он используется в уплотнениях, подшипниках и деталях шаровых кранов, где механический износ вызывает серьезные опасения. В химической промышленности SiC используется в насосах и форсунках, подверженных воздействию агрессивных сред, благодаря своей превосходной химической инертности. Например, форсунки для сероочистки на электростанциях и в крупных котлах изготавливаются из SiC благодаря его устойчивости к воздействию агрессивных газов и жидкостей.Оборонная и военная промышленность:
В оборонном секторе керамика SiC используется в качестве пуленепробиваемой брони благодаря своей высокой твердости и легкости. По сравнению с другими материалами, SiC обеспечивает баланс между снижением веса и баллистической защитой, что делает ее предпочтительным выбором для систем индивидуальной и автомобильной брони.
