Для обнаружения утечек в вакуумной системе, в частности в вакуумных печах, используется несколько методов. Эти методы имеют решающее значение для поддержания целостности и эффективности вакуумной системы, гарантируя, что уровень утечек не превышает критических пороговых значений, которые могут повлиять на работу печи.
Метод обнаружения инжекции:
Этот традиционный метод предполагает откачку воздуха из печи, а затем подачу газа гелия за пределы печи, обычно с помощью гелиевого масс-спектрометра. Спектрометр обнаруживает гелий, который попадает в вакуумную систему через утечки, указывая на наличие и местоположение утечек. Этот метод эффективен, поскольку гелий - маленькая молекула, которая легко проникает через самые маленькие утечки, а использование масс-спектрометра обеспечивает точное обнаружение.Метод обнаружения сопел:
Этот метод подходит для объектов, которые нельзя эвакуировать, например теплообменников, водоохлаждаемых фланцев и электрических вводов. Проверяемый объект заполняется газом, указывающим на утечку, обычно гелием. Затем с помощью датчика, часто гелиевого масс-спектрометра, проверяется наличие утечки газа. Этот метод выгоден, когда прямое применение вакуума не представляется возможным.
Обнаружение утечки инертного газа:
Целостность систем инертных газов также очень важна в вакуумных печах. К распространенным методам обнаружения утечек в системах инертных газов относятся метод пленки (мыльного пузыря) и вакуумный метод обнаружения утечек. Метод мыльных пузырей предполагает нанесение мыльного раствора на подозрительные участки и наблюдение за пузырями, которые образуются в случае утечки. Вакуумный метод обнаружения утечек включает в себя мониторинг скорости повышения давления в системе для обнаружения утечек.Профилактическое обслуживание и мониторинг:
Регулярное профилактическое обслуживание и постоянный мониторинг уровня вакуума в процессе обработки необходимы для своевременного выявления и устранения утечек. Это включает в себя регулярный осмотр вакуумного канала, насосов, уплотнительных колец и уплотнительных поверхностей фланцев. При обнаружении утечки печь обычно заполняют азотом и проводят повторные испытания. Если утечка сохраняется, требуется более тщательное техническое обслуживание, возможно, включающее проверку утечки гелия.
