Напыление - это процесс, используемый для нанесения тонких пленок материалов на подложки путем выброса атомов из твердого материала мишени в результате бомбардировки энергичными ионами. Процесс включает в себя несколько этапов, в том числе помещение материала мишени в вакуумную камеру, подачу технологического газа, приложение электрического потенциала для создания плазмы и выброс атомов мишени на подложку.
Резюме ответа:
Напыление осуществляется путем помещения материала мишени в вакуумную камеру, заполнения камеры технологическим газом, приложения электрического потенциала для создания плазмы и бомбардировки мишени энергичными ионами для выброса атомов, которые затем осаждаются на подложку.
-
Подробное объяснение:Подготовка материала мишени:
-
Материал покрытия в твердом виде помещается на магнетрон, который служит катодом в системе напыления. Для получения высококачественных покрытий материал должен быть чистым, а окружающая среда - чистой.
-
Эвакуация из вакуумной камеры:
-
Из камеры удаляют почти все молекулы, создавая вакуум. Этот шаг имеет решающее значение для предотвращения загрязнения и обеспечения того, чтобы процесс напыления проходил в контролируемой среде.Ввод технологического газа:
-
Камера заполняется технологическим газом, обычно аргоном, кислородом или азотом, в зависимости от материала, который будет осаждаться. На следующем этапе газ ионизируется, чтобы создать плазму, необходимую для напыления.
-
Создание плазмы:
-
К материалу мишени прикладывается электрический потенциал, в результате чего он становится отрицательно заряженным. Корпус камеры служит положительным анодом. Эта электрическая установка ионизирует технологический газ, создавая плазму, содержащую энергичные ионы.Бомбардировка и напыление:
Энергичные ионы в плазме ускоряются по направлению к отрицательно заряженному материалу мишени. Когда эти ионы сталкиваются с мишенью, они передают энергию, в результате чего атомы из мишени выбрасываются. Этот процесс известен как напыление.
Осаждение материала:
