Тонкие пленки обычно изготавливаются из таких материалов, как металлы, оксиды и соединения, каждый из которых обладает специфическими свойствами, подходящими для различных областей применения. Металлы часто используются благодаря их превосходной тепло- и электропроводности, оксиды обеспечивают защиту, а соединения могут быть подобраны таким образом, чтобы обладать определенными желаемыми свойствами.
Металлы в тонких пленках:
Металлы часто используются для осаждения тонких пленок благодаря их превосходной электро- и теплопроводности. Например, золото и серебро широко используются в оптических приложениях, таких как зеркала и антибликовые покрытия. Эти металлы обладают высокой отражательной способностью, что делает их идеальными для улучшения оптических свойств поверхностей. Процесс осаждения металлических тонких пленок может быть осуществлен с помощью таких методов, как напыление, при котором атомы металла выбрасываются из материала мишени и затем осаждаются на подложку.Оксиды в тонких пленках:
Оксиды выбираются для применения в тонких пленках в первую очередь из-за их защитных свойств. Они могут использоваться для создания барьеров против таких факторов окружающей среды, как влага и химические вещества, что очень важно в таких областях, как электроника и аэрокосмическая промышленность. Например, оксид алюминия часто используется в качестве барьерного слоя в микроэлектронных устройствах для предотвращения коррозии и повышения долговечности приборов.
Соединения в тонких пленках:
Соединения, используемые в тонких пленках, могут быть разработаны таким образом, чтобы проявлять специфические свойства, которые недоступны для чистых металлов или оксидов. Например, полупроводниковые соединения, такие как арсенид галлия, используются в производстве светодиодов и солнечных батарей благодаря своим уникальным электронным свойствам. Эти соединения могут быть получены методом химического осаждения из паровой фазы, при котором соединения образуются на подложке in situ в результате химических реакций.
Приложения и технологии:
