Покрытие для РЭМ обычно включает в себя нанесение тонкого слоя проводящего материала, такого как золото, платина или сплав золота/иридия/платины, на непроводящие или плохо проводящие образцы. Такое покрытие необходимо для предотвращения зарядки поверхности образца под электронным пучком, усиления эмиссии вторичных электронов и улучшения соотношения сигнал/шум, что приводит к получению более четких и стабильных изображений. Кроме того, покрытия могут защитить чувствительные к пучку образцы и уменьшить тепловое повреждение.
Проводящие покрытия:
Наиболее распространенными покрытиями, используемыми в РЭМ, являются металлы, такие как золото, платина и сплавы этих металлов. Эти материалы выбирают за их высокую проводимость и выход вторичных электронов, что значительно улучшает возможности визуализации в РЭМ. Например, покрытие образца всего несколькими нанометрами золота или платины может значительно увеличить соотношение сигнал/шум, в результате чего получаются четкие и ясные изображения.
- Преимущества металлических покрытий:Уменьшение повреждения пучком:
- Металлические покрытия защищают образец от прямого воздействия электронного пучка, снижая вероятность его повреждения.Повышенная теплопроводность:
- Отводя тепло от образца, металлические покрытия помогают предотвратить тепловое повреждение, которое может привести к изменению структуры или свойств образца.Уменьшение заряда образца:
- Проводящий слой предотвращает накопление электростатических зарядов на поверхности образца, которые могут исказить изображение и помешать работе электронного пучка.Улучшенная эмиссия вторичных электронов:
- Металлические покрытия улучшают эмиссию вторичных электронов, которые очень важны для получения изображений в РЭМ.Уменьшение проникновения пучка и улучшение краевого разрешения:
Металлические покрытия позволяют уменьшить глубину проникновения электронного луча, улучшая разрешение поверхностных элементов.Напыление покрытия:
Напыление - это стандартный метод нанесения проводящих слоев. Он включает в себя процесс напыления, при котором металлическая мишень бомбардируется ионами аргона, в результате чего атомы металла выбрасываются и осаждаются на образце. Этот метод позволяет точно контролировать толщину и равномерность покрытия, что очень важно для оптимальной работы РЭМ.
Соображения по поводу рентгеновской спектроскопии:
При использовании рентгеновской спектроскопии металлические покрытия могут мешать анализу. В таких случаях предпочтительнее использовать углеродное покрытие, поскольку оно не вносит дополнительных элементов, которые могут усложнить спектроскопический анализ.Современные возможности РЭМ:
