Толщина золотого напыления обычно составляет от 2 до 20 нм для применения в РЭМ. Это ультратонкое покрытие наносится на непроводящие или плохо проводящие образцы для предотвращения заряда и улучшения соотношения сигнал/шум за счет увеличения эмиссии вторичных электронов.
Подробное объяснение:
-
Назначение и применение:
-
Золотое напыление в основном используется в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) для покрытия непроводящих или плохо проводящих образцов. Такое покрытие необходимо, поскольку оно предотвращает накопление статических электрических полей на образце, которые в противном случае могут помешать процессу получения изображения. Кроме того, металлическое покрытие увеличивает эмиссию вторичных электронов с поверхности образца, улучшая видимость и четкость изображений, получаемых с помощью РЭМ.Диапазон толщины:
-
- Согласно справочным материалам, типичная толщина напыленных золотых пленок для РЭМ составляет от 2 до 20 нм. Этот диапазон выбран для того, чтобы покрытие было достаточно тонким, чтобы не заслонять мелкие детали образца, но достаточно толстым, чтобы обеспечить достаточную электропроводность и вторичную эмиссию электронов.
- Конкретные примеры и методики:
-
В одном из примеров 6-дюймовая пластина была покрыта 3 нм золота/палладия (Au/Pd) с помощью SC7640 Sputter Coater. Использовались параметры 800 В и 12 мА с газом аргоном и вакуумом 0,004 бар. Покрытие оказалось равномерным по всей пластине.Другой пример включает в себя осаждение 2 нм платиновой пленки на покрытую углеродом пленку Formvar, также с использованием SC7640 Sputter Coater. Настройки составляли 800 В и 10 мА с газом аргоном и вакуумом 0,004 бар.
-
Технические детали и формулы:
Толщина покрытия Au/Pd может быть рассчитана по формуле:
[ Th = 7.5 I t ]
