Тонкие пленки обычно характеризуются толщиной, которая варьируется от нескольких нанометров до микронов. Толщина тонкой пленки имеет решающее значение, поскольку она существенно влияет на ее электрические, оптические, механические и тепловые свойства. Точное измерение толщины тонкой пленки необходимо для оптимизации функций и дизайна изделий в различных отраслях промышленности.
Методы измерения:
Толщина тонкой пленки часто измеряется оптическими методами, в частности, с помощью интерференции света между верхней и нижней границами пленки. Этот метод основан на интерференционных картинах, создаваемых световыми волнами, взаимодействующими с поверхностями пленки. Количество пиков и долин, наблюдаемых в интерференционном спектре, может быть использовано для определения толщины пленки. Этот метод эффективен для прозрачных пленок на прозрачных подложках, где можно использовать измерения как пропускания, так и отражения.
Для непрозрачных подложек применимы только измерения на отражение. Выбор метода измерения зависит от прозрачности подложки и самой пленки. Важно отметить, что шероховатость поверхности материала может влиять на точность измерений, поэтому необходимо тщательно учитывать качество поверхности пленки.Определение тонкости:
Термин "тонкая пленка" определяется не конкретной толщиной, а относительным масштабом ее толщины по сравнению с внутренними масштабами длины системы. Традиционно тонкая пленка считается "тонкой", если ее толщина (обозначаемая как dz) меньше или равна 5 мкм (обозначаемая как d0). Однако более точное определение считает пленку тонкой, если ее толщина сопоставима или меньше внутреннего масштаба длины системы, который связан со свойствами пленки и тем, как она взаимодействует со светом или другими видами энергии.
Визуализация тонкости:
