Напыление на электронном микроскопе включает в себя нанесение тонкого слоя проводящего материала, обычно металла, такого как золото, иридий или платина, на непроводящие или плохо проводящие образцы. Этот процесс имеет решающее значение для предотвращения зарядки электронным пучком, уменьшения теплового повреждения и усиления вторичной эмиссии электронов во время сканирующей электронной микроскопии (СЭМ).
Резюме ответа:
Напыление в РЭМ - это метод, при котором тонкий проводящий слой металла (обычно золота, иридия или платины) наносится на непроводящие образцы. Такое покрытие предотвращает зарядку, уменьшает термическое повреждение и улучшает эмиссию вторичных электронов, повышая видимость и качество изображений в РЭМ.
-
Подробное объяснение:
- Назначение покрытия Sputter:Предотвращение заряда:
- В РЭМ, когда электронный луч взаимодействует с непроводящим образцом, это может привести к накоплению статических электрических полей, что приводит к заряжению. Этот заряд может исказить изображение и помешать работе электронного луча. Благодаря нанесению проводящего покрытия заряд рассеивается, обеспечивая стабильную среду для сканирования электронным лучом.Уменьшение теплового повреждения:
- Электронный луч может также вызывать тепловое повреждение образца из-за локального нагрева. Проводящее покрытие помогает рассеивать это тепло, защищая образец от повреждений.Усиление вторичной эмиссии электронов:
-
Проводящие покрытия, особенно изготовленные из тяжелых металлов, таких как золото или платина, отлично испускают вторичные электроны при попадании на них электронного пучка. Эти вторичные электроны имеют решающее значение для получения изображений высокого разрешения в SEM.
- Процесс нанесения покрытия методом напыления:Техника напыления:
- Напыление заключается в бомбардировке мишени (блока осаждаемого материала, например золота) атомами или ионами в контролируемой среде (обычно это газ аргон). В результате бомбардировки атомы из мишени выбрасываются и осаждаются на поверхности образца. Этот процесс универсален и позволяет наносить покрытия на сложные трехмерные поверхности, не повреждая образец, даже если он чувствителен к теплу, как, например, биологические образцы.Осаждение покрытия:
-
Напыленные атомы равномерно распределяются по поверхности образца, образуя тонкую пленку. Толщина этой пленки обычно составляет 2-20 нм, что позволяет ей не затенять детали образца и при этом обеспечивать достаточную проводимость.
- Преимущества для образцов SEM:Улучшенное соотношение сигнал/шум:
- Проводящее покрытие увеличивает количество вторичных электронов, испускаемых образцом, что улучшает соотношение сигнал/шум на РЭМ-изображениях, делая их более четкими и детальными.Совместимость с различными образцами:
Покрытие напылением применимо к широкому спектру образцов, включая образцы сложной формы и образцы, чувствительные к нагреву или другим видам повреждений.Коррекция и пересмотр:
