Знание В чем заключается процесс производства полупроводников? 5 ключевых этапов
Аватар автора

Техническая команда · Kintek Solution

Обновлено 2 месяца назад

В чем заключается процесс производства полупроводников? 5 ключевых этапов

Производство полупроводников включает в себя несколько сложных этапов, главным из которых является создание тонких пленок на чистых кремниевых пластинах.

Этот процесс имеет решающее значение для придания полупроводниковым материалам необходимых электрических свойств.

Основными методами, используемыми для нанесения тонких пленок, являются химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и физическое осаждение из паровой фазы (PVD).

Что представляет собой процесс производства полупроводников? Объяснение 5 ключевых этапов

В чем заключается процесс производства полупроводников? 5 ключевых этапов

1. Подготовка кремниевой пластины

Процесс начинается с подготовки тонкой пластины чистого кремния.

Эта пластина служит подложкой, на которую наносятся различные слои материалов.

2. Осаждение тонких пленок

Это нанесение атомных или молекулярных слоев пленки с помощью методов CVD или PVD.

Осаждение тонких пленок очень важно, поскольку оно определяет электрические свойства полупроводника.

CVD иPVD это два основных используемых метода.

CVD-метод предпочтителен благодаря своей высокой точности и предполагает использование газообразных прекурсоров, которые вступают в химическую реакцию, образуя твердую пленку на подложке.

Этот процесс происходит в высокотемпературной среде, что обеспечивает формирование однородной и высококачественной пленки.

PVD, с другой стороны, включает в себя физические процессы, такие как напыление или испарение, для нанесения материалов, которые особенно полезны для создания покрытий высокой чистоты.

3. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD)

В этом методе используются газообразные прекурсоры, которые в результате химических реакций в высокотемпературной камере превращаются в твердое покрытие на подложке.

4. Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)

В этом методе используются такие технологии нанесения высокочистых покрытий, как напыление, термическое испарение или электронно-лучевое испарение.

5. Изготовление полупроводниковых приборов

Этот метод включает в себя формирование межслойных изоляционных слоев, нанесение слоев фоторезиста, разработку рисунка, травление и легирование для создания различных типов полупроводниковых приборов, таких как BJT, FET и транзисторы.

После осаждения тонких пленок процесс переходит к более конкретным этапам изготовления устройств.

В частности, наносится слой межслойного изолятора, который необходим для электрической изоляции между различными компонентами устройства.

Поверх него наносится слой фоторезиста, на который наносится рисунок для создания определенных конструкций, направляющих процесс травления.

Процесс травления выборочно удаляет части слоев, чтобы определить структуру устройства.

После травления фоторезист удаляется, и производится легирование для изменения электрических свойств определенных областей полупроводника, что позволяет создавать различные типы транзисторов и других электронных компонентов.

Технологические достижения

Сфера производства полупроводников постоянно развивается, и для решения проблем, связанных с усложнением и миниатюризацией полупроводниковых устройств, разрабатываются новые технологии, такие как высокоплотное плазменное CVD.

Эти достижения помогают заполнять очень маленькие зазоры между слоями, повышая общую производительность и стабильность устройств.

В заключение следует отметить, что производство полупроводников - это сложный и точный процесс, который включает в себя тщательное осаждение и манипулирование тонкими пленками на кремниевых пластинах, а затем сложные процессы изготовления и легирования для создания электронных компонентов, необходимых для современных технологий.

Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам

Откройте для себя передовые решения для ваших потребностей в производстве полупроводников с помощьюРЕШЕНИЕ KINTEK.

От прецизионной подготовки полупроводниковых пластин до инновационного осаждения тонких пленок методом CVD и PVD - наши современные технологии формируют будущее электроники.

Повысьте уровень производства полупроводников с помощью наших превосходных материалов и тщательно разработанных инструментов - ваш путь к совершенству начинается здесь.

Проконсультируйтесь с нашими специалистами, чтобы узнать больше о нашем передовом лабораторном оборудовании и о том, как мы можем помочь вам достичь ваших производственных целей.

Связанные товары

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Плазменное осаждение с расширенным испарением PECVD машина покрытия

Усовершенствуйте свой процесс нанесения покрытий с помощью оборудования для нанесения покрытий методом PECVD. Идеально подходит для производства светодиодов, силовых полупроводников, МЭМС и многого другого. Осаждает высококачественные твердые пленки при низких температурах.

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Вытяжная матрица с наноалмазным покрытием Оборудование HFCVD

Фильера для нанесения наноалмазного композитного покрытия использует цементированный карбид (WC-Co) в качестве подложки, а для нанесения обычного алмаза и наноалмазного композитного покрытия на поверхность внутреннего отверстия пресс-формы используется метод химической паровой фазы (сокращенно CVD-метод).

CVD-алмаз, легированный бором

CVD-алмаз, легированный бором

Алмаз, легированный CVD бором: универсальный материал, обеспечивающий индивидуальную электропроводность, оптическую прозрачность и исключительные тепловые свойства для применения в электронике, оптике, сенсорных и квантовых технологиях.

Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории

Цилиндрический резонатор MPCVD алмазной установки для выращивания алмазов в лаборатории

Узнайте о машине MPCVD с цилиндрическим резонатором - методе микроволнового плазмохимического осаждения из паровой фазы, который используется для выращивания алмазных камней и пленок в ювелирной и полупроводниковой промышленности. Узнайте о его экономически эффективных преимуществах по сравнению с традиционными методами HPHT.

Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов

Колокольный резонатор MPCVD Машина для лаборатории и выращивания алмазов

Получите высококачественные алмазные пленки с помощью нашей машины MPCVD с резонатором Bell-jar Resonator, предназначенной для лабораторного выращивания и выращивания алмазов. Узнайте, как микроволновое плазменно-химическое осаждение из паровой фазы работает для выращивания алмазов с использованием углекислого газа и плазмы.

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

Радиочастотная система PECVD Радиочастотное осаждение из паровой фазы с усилением плазмы

RF-PECVD - это аббревиатура от "Radio Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition". С его помощью на германиевые и кремниевые подложки наносится пленка DLC (алмазоподобного углерода). Он используется в инфракрасном диапазоне длин волн 3-12um.

CVD-алмаз для терморегулирования

CVD-алмаз для терморегулирования

CVD-алмаз для управления температурным режимом: высококачественный алмаз с теплопроводностью до 2000 Вт/мК, идеально подходящий для теплоотводов, лазерных диодов и приложений GaN на алмазе (GOD).

CVD-алмазное покрытие

CVD-алмазное покрытие

Алмазное покрытие CVD: превосходная теплопроводность, качество кристаллов и адгезия для режущих инструментов, трения и акустических применений.

915MHz MPCVD алмазная машина

915MHz MPCVD алмазная машина

915MHz MPCVD Diamond Machine и его многокристальный эффективный рост, максимальная площадь может достигать 8 дюймов, максимальная эффективная площадь роста монокристалла может достигать 5 дюймов. Это оборудование в основном используется для производства поликристаллических алмазных пленок большого размера, роста длинных монокристаллов алмазов, низкотемпературного роста высококачественного графена и других материалов, для роста которых требуется энергия, предоставляемая микроволновой плазмой.

Нитрид кремния (SiNi) керамический лист точная обработка керамика

Нитрид кремния (SiNi) керамический лист точная обработка керамика

Пластина из нитрида кремния является широко используемым керамическим материалом в металлургической промышленности благодаря своим равномерным характеристикам при высоких температурах.

Мишень для распыления кремния высокой чистоты (Si) / порошок / проволока / блок / гранула

Мишень для распыления кремния высокой чистоты (Si) / порошок / проволока / блок / гранула

Ищете высококачественные кремниевые (Si) материалы для своей лаборатории? Не смотрите дальше! Наши изготовленные на заказ кремниевые (Si) материалы бывают различной чистоты, формы и размера в соответствии с вашими уникальными требованиями. Просмотрите наш выбор мишеней для распыления, порошков, фольги и многого другого. Заказать сейчас!

Инфракрасный кремний/высокопрочный кремний/монокристаллический кремниевый объектив

Инфракрасный кремний/высокопрочный кремний/монокристаллический кремниевый объектив

Кремний (Si) широко известен как один из самых прочных минеральных и оптических материалов для применения в ближнем инфракрасном (БИК) диапазоне, примерно от 1 мкм до 6 мкм.

Электронно-лучевой тигель

Электронно-лучевой тигель

В контексте испарения с помощью электронного луча тигель представляет собой контейнер или держатель источника, используемый для хранения и испарения материала, который должен быть нанесен на подложку.

Керамический лист из карбида кремния (SIC) Плоский / гофрированный радиатор

Керамический лист из карбида кремния (SIC) Плоский / гофрированный радиатор

Керамический радиатор из карбида кремния (sic) не только не генерирует электромагнитные волны, но также может изолировать электромагнитные волны и поглощать часть электромагнитных волн.

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Универсальная трубчатая печь CVD, изготовленная по индивидуальному заказу CVD-машина

Получите свою эксклюзивную печь CVD с универсальной печью KT-CTF16, изготовленной по индивидуальному заказу. Настраиваемые функции скольжения, вращения и наклона для точной реакции. Заказать сейчас!

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Наклонная ротационная машина для трубчатой печи с плазменным осаждением (PECVD)

Представляем нашу наклонную вращающуюся печь PECVD для точного осаждения тонких пленок. Наслаждайтесь автоматическим согласованием источника, программируемым ПИД-регулятором температуры и высокоточным управлением массовым расходомером MFC. Встроенные функции безопасности для вашего спокойствия.

Тигель для выпаривания графита

Тигель для выпаривания графита

Сосуды для высокотемпературных применений, где материалы выдерживаются при чрезвычайно высоких температурах для испарения, что позволяет наносить тонкие пленки на подложки.


Оставьте ваше сообщение