Процесс напыления мишени включает в себя использование твердого материала, известного как мишень для напыления. Эта мишень разбивается на мельчайшие частицы газообразными ионами в вакуумной камере. Затем эти частицы образуют аэрозоль, который покрывает подложку, создавая тонкую пленку. Эта техника, известная как напыление или осаждение тонких пленок, широко используется при создании полупроводников и компьютерных чипов.
7 основных этапов процесса напыления мишени
1. Настройка вакуумной камеры
Процесс начинается в вакуумной камере, где базовое давление чрезвычайно низкое, обычно от 10 до -6 миллибар. Это примерно миллиардная часть нормального атмосферного давления. Такая вакуумная среда крайне важна для предотвращения любого загрязнения тонкой пленки.
2. Введение инертного газа
В камеру вводится контролируемый газ, обычно аргон, который является химически инертным. Атомы газа превращаются в положительно заряженные ионы, теряя электроны в плазме.
3. Генерация плазмы
Электрический ток подается на катод, который содержит материал мишени для напыления. В результате образуется самоподдерживающаяся плазма. Материал мишени, который может быть металлическим, керамическим или даже пластиковым, подвергается воздействию этой плазмы.
4. Процесс напыления
Положительно заряженные ионы аргона ускоряются по направлению к материалу мишени с высокой кинетической энергией. При попадании в мишень они смещают атомы или молекулы материала мишени, создавая поток пара из этих частиц.
5. Осаждение на подложку
Напыленный материал, теперь уже в виде пара, проходит через камеру и ударяется о подложку, где он прилипает и образует тонкую пленку или покрытие. Эта подложка обычно находится там, где требуется тонкая пленка, например на полупроводниках или компьютерных чипах.
6. Охлаждение и контроль
Во время процесса внутри мишени может использоваться магнитная решетка для управления плазмой, а внутри цилиндра мишени циркулирует охлаждающая вода для отвода выделяющегося тепла.
7. Изготовление мишеней для напыления
Процесс изготовления мишеней для напыления зависит от материала и его предполагаемого использования. Используются такие методы, как классическое и вакуумное горячее прессование, холодное прессование и спекание, вакуумное плавление и литье. Каждая партия продукции подвергается тщательному анализу для обеспечения высокого качества.
Этот детальный процесс обеспечивает осаждение высококачественных тонких пленок, которые необходимы в различных технологических приложениях, особенно в электронной промышленности.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Готовы расширить свои возможности по осаждению тонких пленок? Компания KINTEK специализируется на производстве высококачественных мишеней для напыления, разработанных в соответствии с жесткими требованиями производства полупроводников и компьютерных чипов. Наши передовые технологии и строгий контроль качества гарантируют, что каждая мишень обеспечивает стабильную и превосходную производительность. Оцените точность и надежность мишеней для напыления от KINTEK.Свяжитесь с нами сегодня, чтобы обсудить ваши конкретные потребности и сделать первый шаг к усовершенствованию ваших тонкопленочных приложений.
