Основное различие между радиочастотным напылением и напылением на постоянном токе заключается в источниках питания.
При напылении постоянным током в качестве источника питания используется постоянный ток.
При радиочастотном напылении используется источник переменного тока (AC).
Это различие в источниках питания приводит к нескольким различиям между двумя методами напыления.
4 ключевых момента для понимания разницы между радиочастотным напылением и напылением на постоянном токе
1. Требование к напряжению
Для напыления постоянным током обычно требуется напряжение 2 000-5 000 вольт.
ВЧ-напыление требует 1 012 вольт или выше для достижения той же скорости осаждения.
Это связано с тем, что при напылении постоянным током происходит прямая ионная бомбардировка газовой плазмы электронами.
При радиочастотном напылении используется кинетическая энергия для удаления электронов с внешних оболочек атомов газа.
Создание радиоволн при ВЧ-напылении требует большей мощности для достижения того же эффекта, что и при использовании электронного тока.
2. Давление в камере
ВЧ-напыление позволяет поддерживать газовую плазму при значительно более низком давлении в камере - менее 15 мТорр.
Для напыления постоянным током требуется давление в камере 100 мТорр.
Такое низкое давление позволяет уменьшить количество столкновений между заряженными частицами плазмы и материалом мишени.
При этом создается более прямой путь к мишени для напыления.
3. Применимость
Напыление постоянным током широко распространено, эффективно и экономично.
Оно подходит для обработки большого количества подложек.
ВЧ-напыление работает как с проводящими, так и с непроводящими напыляемыми материалами.
Оно более дорогостоящее и имеет более низкий выход напыления.
Оно больше подходит для подложек меньшего размера.
4. Краткое описание различий
ВЧ-напыление использует источник переменного тока, требует более высокого напряжения, работает при более низком давлении в камере и подходит как для проводящих, так и для непроводящих материалов.
Напыление постоянного тока использует источник постоянного тока, требует более низкого напряжения, работает при более высоком давлении в камере и более экономично для обработки больших количеств подложек.
Продолжайте исследовать, обратитесь к нашим экспертам
Обновите свое лабораторное оборудование с помощьюKINTEK для эффективного и универсального процесса напыления!
Если вам нужно напыление постоянным током для металлических мишеней или радиочастотное напыление для непроводящих материалов, у нас есть идеальные решения для вас.
Наше высококачественное оборудование обеспечивает оптимальные требования к источникам питания и напряжению, что позволяет добиться точной и надежной скорости осаждения.
Не идите на компромисс с производительностью - выбирайте KINTEK для своих потребностей в напылении.
Свяжитесь с нами сегодня и поднимите свои исследования на новую высоту!
