Карбид кремния (SiC) используется в различных областях полупроводниковой промышленности благодаря своим уникальным свойствам, которые включают широкий зазор, высокую теплопроводность, высокую подвижность электронов и превосходную напряженность электрического поля пробоя. Эти характеристики делают SiC идеальным материалом для силовых полупроводниковых устройств, где он решает проблемы, связанные с традиционными материалами, такими как кремний (Si) и арсенид галлия (GaAs).
Оборудование для производства полупроводников:
SiC используется для изготовления компонентов оборудования для производства полупроводников, таких как суспензоры, контактные кольца, подъемные штифты, электроды, фокусирующие кольца и вкладыши камер. Эти компоненты имеют решающее значение в таких процессах, как быстрая термическая обработка (RTP), плазменное травление, химическое осаждение из паровой фазы (CVD), эпитаксия, ионная имплантация, литография и различные методы очистки. Использование SiC в этих приложениях обусловлено его устойчивостью к высоким температурам и агрессивным средам, которые часто встречаются в процессах производства полупроводников.Силовые полупроводниковые приборы:
Свойства SiC делают его отличным материалом для силовых устройств, которые необходимы в приложениях, требующих высокой эффективности и плотности мощности. Силовые приборы из SiC, такие как диоды и транзисторы, могут работать при более высоких температурах, частотах и напряжениях, чем их кремниевые аналоги. Эта способность особенно важна для электромобилей, систем возобновляемой энергии и промышленных приводов, где эффективность и надежность имеют первостепенное значение.
Проводящая керамика:
Керамику SiC можно сделать проводящей, что улучшает ее обрабатываемость и позволяет проводить электроэрозионную обработку. Это особенно полезно при изготовлении крупных деталей из SiC-керамики или деталей сложной формы. Когда удельное сопротивление SiC-керамики снижается до уровня менее 100 Ом-см, ее можно точно и быстро обрабатывать, что облегчает производство сложных деталей.Коррозионные среды:
Превосходная химическая и физическая стабильность SiC делает его идеальным материалом для компонентов, подверженных воздействию агрессивных сред, таких как сопла для сероочистки на электростанциях и компоненты химических насосов. В этих областях применения SiC обладает устойчивостью к воздействию кислот, щелочей и других агрессивных сред, что обеспечивает длительную работу без технического обслуживания.
Высокотемпературные применения:
SiC широко используется в высокотемпературных приложениях, таких как электрические нагревательные элементы в промышленных печах и мебель для печей в керамической и стекольной промышленности. Высокая теплопроводность и устойчивость к тепловому удару делают его подходящим для таких сложных условий.
Оборона и военная промышленность:
